MEMSジャイロスコープにおける駆動モード振幅不安定性のための非線形動的システムモデル【JST・京大機械翻訳】

Nabholz Ulrike; Curcic Michael; Mehner Jan E.; Degenfeld-Schonburg Peter

プレプリント

J-GLOBAL ID：202202210428321161 整理番号：22P0108651

MEMSジャイロスコープにおける駆動モード振幅不安定性のための非線形動的システムモデル【JST・京大機械翻訳】

Nonlinear Dynamical System Model for Drive Mode Amplitude Instabilities in MEMS Gyroscopes

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発行年： 2020年02月06日プレプリントサーバーでの情報更新日： 2020年02月06日
JST資料番号： O7000B 資料種別：プレプリント
記事区分：プレプリント発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

※このプレプリント論文は学術誌に掲載済みです。なお、学術誌掲載の際には一部内容が変更されている可能性があります。

マイクロ電気機械ジャイロセンサの信頼性と精度に関係する要求は,自律運転のための可能な要因として,車両位置確認のためのシステムとして,増加している。ミクロ電気機械システム(MEMS)は成熟技術になったので,それらの挙動を予測するために用いられるモデリング技術は,非線形動的効果を含むために,ほとんど線形アプローチから拡大した。これはMEMSセンサの性能を制限する様々な非線形現象の理解の増加につながる。本研究では,2つの非線形結合機械モードモデルを開発し,MEMSジャイロスコープにおける測定駆動モード不安定性を説明するためにそれを採用した。駆動モードと寄生モードの間の3:1内部共鳴により,保守システム内のエネルギー移動が発生する。ヒステリシス効果を示す振幅応答曲線の測定から,全ての非線形系パラメータを抽出し,定常状態モデルが,測定したシステム挙動を完全に説明するために,過渡シミュレーションにより拡張する必要があると結論した。【JST・京大機械翻訳】

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固体デバイス製造技術一般 , 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器

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