任意のナノパターンとそれを超えた直接レーザ書込みのための遠視野複合超解像レンズ【JST・京大機械翻訳】

Yan B.; Yue L.; Monks J. N.; Yang X.; Xiong D.; Jiang C.; Wang Z.

プレプリント

J-GLOBAL ID：202202210969375230 整理番号：21P0017913

任意のナノパターンとそれを超えた直接レーザ書込みのための遠視野複合超解像レンズ【JST・京大機械翻訳】

Far-field Compound Super-resolution Lens for direct laser writing of arbitrary nano patterns and beyond

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発行年： 2019年10月08日プレプリントサーバーでの情報更新日： 2019年10月08日
JST資料番号： O7000B 資料種別：プレプリント
記事区分：プレプリント発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

※このプレプリント論文は学術誌に掲載済みです。なお、学術誌掲載の際には一部内容が変更されている可能性があります。

Plano-Convexレンズとミクロスフェアレンズ(PCM)からなる低コスト化合物超解像レンズを提案し,サブ波長直接レーザ走査書き込み応用を実証した。PCMレンズは,既存の市販目的レンズの分解能限界を凌駕し,その種類の第一である,空気中(レンズから約6μm離れた)の遠方場超分解能を達成できる。現在,開発したPCMレンズを用いて,簡単で低コストな方法で,種々の基板上に任意のナノパターンを直接作製できる。また,レンズはナノイメージングやセンシングを含む他の応用や共焦点配置にも使用できる。本研究は次世代の低コスト直接レーザナノファブリケーションマシンと超解像イメージングナノスコープの開発につながる。【JST・京大機械翻訳】

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光学的測定とその装置一般 , 固体デバイス製造技術一般

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