赤色増強感度と低タイミングジッタを持つSPADアレイのためのカスタムシリコン技術【JST・京大機械翻訳】

Gulinatti Angelo; Ceccarelli Francesco; Ghioni Massimo; Rech Ivan

プレプリント

J-GLOBAL ID：202202211113106560 整理番号：21P0048820

赤色増強感度と低タイミングジッタを持つSPADアレイのためのカスタムシリコン技術【JST・京大機械翻訳】

Custom silicon technology for SPAD-arrays with red-enhanced sensitivity and low timing jitter

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発行年： 2020年09月14日プレプリントサーバーでの情報更新日： 2020年09月14日
JST資料番号： O7000B 資料種別：プレプリント
記事区分：プレプリント発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

※このプレプリント論文は学術誌に掲載済みです。なお、学術誌掲載の際には一部内容が変更されている可能性があります。

単一光子検出は,基礎研究から消費者エレクトロニクスまでの多くの応用に対する貴重なツールである。この点で,単一光子アバランシェダイオード(SPAD)は,その顕著な性能,室温操作,およびスケーラビリティのおかげで,これらの技術の幅広い拡散を可能にする上で重要な役割を果たす。本論文では,低タイミングジッタ(95ps FWHM)の前例のない組み合わせと赤色および近赤外波長(650nmで70%のピーク,800nmで45%)で,SPADアレイの作製を可能にするシリコン技術を提示する。デバイス構造,製作プロセスを議論し,作製した検出器の徹底的な実験的キャラクタリゼーションを示した。著者らは,これらの長待った結果が,量子光学から単一分子分光法にわたる多くの分野における新しい励起開発への道を拓くことができると考える。【JST・京大機械翻訳】

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, , , , 【Automatic Indexing@JST】

光導電素子 , 赤外・遠赤外領域の測光と光検出器 , 測光と光検出器一般

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