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J-GLOBAL ID：202202212631806378   整理番号：22A0223377

光ルミネセンスイメージングとテンプレートマッチングアルゴリズムによる150mmSiCエピタキシャルウエハにおける基底面転位の自動検出【JST・京大機械翻訳】

Automatic Detection of Basal Plane Dislocations in a 150-mm SiC Epitaxial Wafer by Photoluminescence Imaging and Template-matching Algorithm

著者 (4件)： Harada Shunta (Center for Integrated Research of Future Electronics (CIRFE), Institute of Materials and Systems for Sustainability (IMaSS), Nagoya University, Nagoya, Japan) ,  Harada Shunta (Department of Materials Process Engineering, Nagoya University, Nagoya, Japan) ,  Tsujimori Kota (Center for Integrated Research of Future Electronics (CIRFE), Institute of Materials and Systems for Sustainability (IMaSS), Nagoya University, Nagoya, Japan) ,  Matsushita Yosuke (ITES Co., Ltd., Yasu-shi, Shiga, Japan)
資料名： Journal of Electronic Materials  (Journal of Electronic Materials)
巻： 51  号： 1  ページ： 243-248  発行年： 2022年 
JST資料番号： D0277B  ISSN： 0361-5235  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,光ルミネセンス画像中のSiCエピタキシャル層で伝搬する基底面転位(BPD)の自動検出のためのアルゴリズムを構築し,その性能を評価した。BPDは積層欠陥の拡大に起因するSiCバイポーラデバイスの劣化の起源である。テンプレートマッチング法に基づく現在の自動検出アルゴリズムは高精度と精度を有し,150mmSiCエピタキシャルウエハのBPD密度を可視化することに成功した。テンプレートマッチング法は,SiCエピタキシャル層中のBPDのような幾何学的に固定された形状を有する結晶欠陥の検出に適用できることを確認した。Copyright The Minerals, Metals & Materials Society 2021 Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *アルゴリズム ,  格子欠陥 ,  *光ルミネセンス ,  *炭化ケイ素 ,  可視化 ,  *画像処理 ,  積層欠陥
準シソーラス用語： 自動検出 ,  *テンプレートマッチング ,  高精度 ,  検出アルゴリズム ,  エピタキシャル層 ,  *マッチングアルゴリズム , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 炭化ケイ素 ,  転位 ,  光ルミネセンス ,  テンプレートマッチング

分類 (3件)： 半導体の格子欠陥  (BK12040Q) ,  半導体薄膜  (BK14040E) ,  固体デバイス材料  (NC03020K)

タイトルに関連する用語 (8件)： 光ルミネセンス ,  イメージング ,  テンプレートマッチング ,  アルゴリズム ,  エピタキシャル ,  ウエハ ,  基底面転位 ,  自動検出