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J-GLOBAL ID:202202213162244747   整理番号:22A0898217

熱電応用のための種々の基板上の多結晶Si_0.7Ge_0.3の成長【JST・京大機械翻訳】

Growth of polycrystalline Si0.7Ge0.3 on various substrates for thermoelectric applications
著者 (3件):
資料名:
巻: 585  ページ: Null  発行年: 2022年 
JST資料番号: B0942A  ISSN: 0022-0248  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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シリコンゲルマニウムは,高温用途のための最良の熱電材料の1つであることが知られているが,メイオクリーク効率値をもたらした。熱電効率は熱伝導率に逆比例し,結晶粒界の増加と共に減少する。結晶成長中の粒界を最大化または粒径を減少させるため,本研究では,SiC,Si_3N_4およびSi_3N_4:Si基板を含む種々の基板上のSi_0.7Ge_0.3の成長挙動を,冷却速度5,20および100K/minで観察することを目的とした。試料過冷却は,SiCとSi_3N_4:Siに対して,それぞれ0.6Kと1.9Kの平均値で有意な温度依存性を持たないことが分かった。結晶成長挙動は冷却速度,過冷却および基板材料に依存することを見出した。より高い冷却速度はより多くの結晶粒を生成し,SiCは偏析したメルトの最も小さい部分で最も大きく生成するが,Si_3N_4は反対であることが分かった。成長挙動を試料の走査電子顕微鏡分析により確認した。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (2件):
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半導体の結晶成長  ,  半導体薄膜 
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