X線分光法を用いた表面上の吸着挙動分析のためのその場ガスセル【JST・京大機械翻訳】

Streeck Cornelia; Grotzsch Daniel; Weser Jan; Nutsch Andreas; Malzer Wolfgang; Beckhoff Burkhard; Kanngiesser Birgit; Mantouvalou Ioanna

プレプリント

J-GLOBAL ID：202202213917355370 整理番号：22P0331534

X線分光法を用いた表面上の吸着挙動分析のためのその場ガスセル【JST・京大機械翻訳】

In situ gas cell for the analysis of adsorption behavior on surfaces using x-ray spectroscopy

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発行年： 2022年04月13日プレプリントサーバーでの情報更新日： 2022年04月13日
JST資料番号： O7000B 資料種別：プレプリント
記事区分：プレプリント発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

X線蛍光(XRF)およびX線吸収微細構造(XAFS)分光法による,揮発性有機化合物(VOCs)のin situ測定用のガスセルおよび種々の表面上のそれらの吸着挙動を開発した。VOCsの主成分として炭素,酸素または窒素のような低Z元素の効率的励起と検出を可能にするように,セルを特に設計した。2つの測定モードが利用可能である。表面モードでは,表面への吸着は,入射の浅い角度の下で蛍光検出によってXAFSを用いて研究できる。透過モードにより,透過率および蛍光検出モードにおけるXAFSによる気体試料の同時調査が可能になった。シンクロトロン放射施設BESSY IIにおける軟X線放射に対して,PTB平面格子モノクロメータビームラインで原理実験を行った。最も豊富なVOCsの1つとしてエタノール(EtOH)の調査で,電池の柔軟な設計と高い汎用性を実証した。CとO-K吸収端の両方におけるSi-ウエハ表面上の吸着分子の測定による気相における透過と蛍光検出の下での近吸収端X線吸収微細構造(NEXAFS)スペクトルの比較は,吸着プロセスの監視のためのセルの適用性を証明した。【JST・京大機械翻訳】

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X線スペクトル一般 , X線技術

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