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J-GLOBAL ID：202202214332870336   整理番号：22A0563529

マイクロエレクトロニクス応用のための圧電LiNbO_3基板の硬度と強度に対する結晶方位の影響【JST・京大機械翻訳】

Effect of crystal orientation on the hardness and strength of piezoelectric LiNbO₃ substrates for microelectronic applications

著者 (5件)： Gruber M. (Department of Materials Science, Montanuniversitaet Leoben, Franz Josef Strasse 18, A-8700 Leoben, Austria) ,  Leitner A. (Department of Materials Science, Montanuniversitaet Leoben, Franz Josef Strasse 18, A-8700 Leoben, Austria) ,  Kiener D. (Department of Materials Science, Montanuniversitaet Leoben, Franz Josef Strasse 18, A-8700 Leoben, Austria) ,  Supancic P. (Department of Materials Science, Montanuniversitaet Leoben, Franz Josef Strasse 18, A-8700 Leoben, Austria) ,  Bermejo R. (Department of Materials Science, Montanuniversitaet Leoben, Franz Josef Strasse 18, A-8700 Leoben, Austria)
資料名： Materials & Design  (Materials & Design)
巻： 213  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： A0495B  ISSN： 0264-1275  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 圧電単結晶材料は,5G技術における高速データ転送にとって最も重要である。エンドデバイスの機能性は温度に依存しない周波数フィルタリングと高い表面音響波速度を必要とし,それは圧電基板材料の方位依存熱物理特性と関連する。単結晶リチウムNiobate(LiNbO_3)は,特に方向に切断され,顕著な機能特性を有することが証明されているが,高異方性機械的性質と共にその脆性特性は,その使用を要求する用途を制限する可能性がある。本研究では,異なる方位の2つのLiNbO_3試料のナノインデンテーション結果と有限要素解析支援二軸強度実験を比較することにより,硬さと機械的強度に及ぼす結晶方位の影響を実証した。結晶異方性は,両方位の間で約20%までの硬度の差をもたらし,特性強度はより硬い方向に2倍である。観察された相関は,対応する結晶方位における表面仕上げと明確な表面下損傷の影響に基づいて合理化される。ナノスクラッチ試料の付加的強度測定は,より少ない(サブ)表面損傷により,より硬い配向に対して有意に高い残留強度を明らかにした。これらの知見は,より高い信頼性を有する単結晶基板材料の将来設計に利用できる。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 単結晶 ,  合理化 ,  信頼性 ,  *結晶 ,  脆性 ,  フィルタリング ,  *結晶方位 ,  *圧電気 ,  弾性表面波 ,  機械的強度 ,  残留強度 ,  *マイクロエレクトロニクス ,  表面仕上
準シソーラス用語： 有限要素解析 ,  表面損傷 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 脆性単結晶 ,  マイクロエレクトロニクス材料の信頼性 ,  硬度異方性 ,  強度異方性 ,  二軸強度 ,  スクラッチ試験

分類 (3件)： 機械的性質  (WB02030U) ,  変態組織,加工組織  (WB01030N) ,  セラミック・磁器の性質  (YC03030G)

タイトルに関連する用語 (5件)： マイクロエレクトロニクス ,  応用 ,  圧電 ,  硬度 ,  結晶方位