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J-GLOBAL ID：202202215563390864   整理番号：22A0780097

AlNベースSAW圧力センサのTCFに及ぼす圧力の影響【JST・京大機械翻訳】

The Influence of Pressure on the TCF of AlN-Based SAW Pressure Sensor

著者 (5件)： Pan Shuliang (State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices, School of Electronic Science and Engineering, University of Electronic Science and Technology of China (UESTC), Chengdu, China) ,  Memon Maria Muzamil (State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices, School of Electronic Science and Engineering, University of Electronic Science and Technology of China (UESTC), Chengdu, China) ,  Wan Jiang (State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices, School of Electronic Science and Engineering, University of Electronic Science and Technology of China (UESTC), Chengdu, China) ,  Wang Tao (State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices, School of Electronic Science and Engineering, University of Electronic Science and Technology of China (UESTC), Chengdu, China) ,  Zhang Wanli (State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices, School of Electronic Science and Engineering, University of Electronic Science and Technology of China (UESTC), Chengdu, China)
資料名： IEEE Sensors Journal  (IEEE Sensors Journal)
巻： 22  号： 4  ページ： 3097-3104  発行年： 2022年 
JST資料番号： W1318A  ISSN： 1530-437X  CODEN： ISJEAZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究は,種々の圧力で動作するAlNベースの表面音響波(SAW)圧力センサの温度安定性を説明した。大気圧で,18°Cから460°Cの温度範囲における周波数の温度係数(TCF)を-35.68ppm/°Cと試験した。圧力を0MPaから2MPaに増やすと,|TCF|は0.43ppm/°C減少した。有限要素法(FEM)を用いて|TCF|の減少現象を調べ,弾性率と熱不整合が|TCF|の減少に寄与する二つの主な要因であることを見出した。大気圧では,弾性率効果のみを考慮した場合,TCFは-17.27ppm/°Cとしてシミュレートされた。圧力を0MPaから2MPaに増やすと,|TCF|は0.003ppm/°Cだけ減少し,これは歪が圧力だけ増加するので,実験結果よりも非常に小さい。薄膜間の熱的不整合を含む後,大気圧でのセンサのTCFを-26.50ppm/°Cとしてシミュレートした。|TCF|は,圧力および温度の両方の増加とともに,圧力を0MPaから2MPaに増加させると0.49ppm/°C減少した。センサ|TCF|は,周波数が温度とともに減少するが,圧力と共に増加するので,圧力と共に増加し,それは,圧力が,同じ温度範囲で引き起こされる周波数低下の一部をキャンセルできることを意味する,従って,高圧での|TCF|は,より小さい。Copyright 2022 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 弾性係数 ,  薄膜 ,  有限要素法 ,  弾性表面波 ,  周波数 ,  *窒化アルミニウム ,  不整合 ,  センサ ,  圧力センサ ,  温度係数
準シソーラス用語： 温度範囲 ,  温度安定性 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H) ,  温度測定,温度計  (AD06010K)

タイトルに関連する用語 (4件)： AlN ,  SAW ,  圧力センサ ,  TCF