弱い横磁場が存在する場合で動作する容量性放電におけるプラズマ動力学に及ぼす電子バウンスサイクロトロン共鳴の影響の研究【JST・京大機械翻訳】

Sharma Sarveshwar; Patil Sanket; Sengupta Sudip; Sen Abhijit; Khrabrov Alexander; Kaganovich Igor

プレプリント

J-GLOBAL ID：202202216417855081 整理番号：22P0329941

弱い横磁場が存在する場合で動作する容量性放電におけるプラズマ動力学に及ぼす電子バウンスサイクロトロン共鳴の影響の研究【JST・京大機械翻訳】

Investigating the effects of electron bounce-cyclotron resonance on plasma dynamics in capacitive discharges operated in the presence of a weak transverse magnetic field

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発行年： 2022年04月12日プレプリントサーバーでの情報更新日： 2022年04月12日
JST資料番号： O7000B 資料種別：プレプリント
記事区分：プレプリント発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

※このプレプリント論文は学術誌に掲載済みです。なお、学術誌掲載の際には一部内容が変更されている可能性があります。

最近,S Patilらは,低圧(5mTorr)容量結合放電(CCP)が,その電極に平行に印加した弱い外部磁場の存在下で,非常に高い高周波(60MHz)源によって駆動されるとき,強化された作動領域の存在を報告している。それらの粒子-イン-セル(PIC)シミュレーションは,電子サイクロトロン周波数が与えられた固定電圧に対して印加RF周波数の半分に等しいとき,電極で著しく高いバルクプラズマ密度とイオンフラックスを達成できることを示した。本研究では,この現象を詳細に調べ,系の電子およびイオン動力学に対するこの「電子反跳サイクロトロン共鳴(EBCR)」の影響を明らかにした。イオン化衝突速度と確率的加熱が共鳴条件下で最大であることを見出した。電子エネルギー分布関数も,EBCRが最大である場合,尾端電子の集団が最大であることを示した。バルクプラズマ領域における電場遷移の形成も,印加磁場のより低い値で見られた。最後に,EBCR誘起効果は低圧現象であり,中性ガス圧力が増加するにつれて弱くなることを示した。産業目的のためのCCP装置の運転性能を進めるためのこの効果の潜在的有用性を議論した。【JST・京大機械翻訳】

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気体放電 , プラズマ生成・加熱

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