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J-GLOBAL ID：202202217061237960   整理番号：22A0389047

RF MEMS静電駆動同調コンデンサとその応用:レビュー【JST・京大機械翻訳】

RF MEMS electrostatically actuated tunable capacitors and their applications: a review

著者 (2件)： Khan Fahimullah (Physical Sciences and Engineering Division, King Abdullah University of Science and Technology, Thuwal 23955-6900, Saudi Arabia) ,  Younis Mohammad I (Physical Sciences and Engineering Division, King Abdullah University of Science and Technology, Thuwal 23955-6900, Saudi Arabia)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 32  号： 1  ページ： 013002 (19pp)  発行年： 2022年 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文は,マイクロ電気機械システム(MEMS)ベースの静電駆動同調キャパシタの最近の開発をレビューした。MEMSベース可変キャパシタ(MBTC)は,先進無線周波数通信システムと携帯エレクトロニクスにおける重要なビルディングブロックである。これは,固体状態の対応物に比べて優れた性能による。MBTCsの異なる設計,調整機構,および性能パラメータを考察し,比較し,要約した。同調範囲,品質因子(Q因子),および電極構成に関して,いくつかの定量的比較を提示し,それは,種々の設計研究への深い洞察を提供し,設計の選択を助け,そして,種々の応用を最も良く適合させるレイアウトを提供する。また,モバイルハンドセット,モノのインターネット,通信センサ,および5Gアンテナのような可変キャパシタの最近の最新の応用も強調した。最後に,本論文では,異なる設計手法を検討し,性能改善のためのガイドラインを提案した。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： アンテナ ,  *コンデンサ ,  *同調 ,  可変コンデンサ ,  Q値 ,  通信 ,  通信方式 ,  電子技術 ,  送受話器 ,  携帯電話 ,  *MEMS
準シソーラス用語： ビルディングブロック ,  無線周波数 ,  *RF MEMS ,  モノのインターネット , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： RF ,  MEMS ,  静電駆動 ,  同調 ,  コンデンサ ,  応用 ,  レビュー