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J-GLOBAL ID：202202217645320022   整理番号：22A0779334

Torr-Regime容量結合プラズマリアクタにおける電極加熱効果の動力学的解析:2Dパーティクルインセルシミュレーション研究【JST・京大機械翻訳】

Kinetic Analysis of Electrode Heating Effects in a Torr-Regime Capacitively Coupled Plasma Reactor: 2-D Particle-in-Cell Simulation Study

著者 (5件)： Park Geonwoo (Pusan National University, Busan, South Korea) ,  Kim Jin Seok (Simulation Technology Development Department, Tokyo Electron Technology Solutions Ltd., Nirasaki City, Yamanashi, Japan) ,  Kim Chang Ho (Pusan National University, Busan, South Korea) ,  Kim Ho Jun (Department of Mechanical Engineering, Gachon University, Seongnam, South Korea) ,  Lee Hae June (Department of Electrical Engineering, Pusan National University, Busan, South Korea)
資料名： IEEE Transactions on Plasma Science  (IEEE Transactions on Plasma Science)
巻： 50  号： 2  ページ： 540-549  発行年： 2022年 
JST資料番号： D0036B  ISSN： 0093-3813  CODEN： ITPSBD  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 半導体産業において,容量結合プラズマ堆積反応器の電極はプロセス最適化の目的でしばしば加熱される。化学的速度論に基づいて,加熱電極は膜特性を変調し,堆積した薄膜の成長速度を増強できる。ソースガスは電極近くのホテル領域で急速な膨張を受けるので,加熱電極は対応するシース近くのソース密度を低下させる原因となる。したがって,電子エネルギー確率関数(EEPFs),イオンエネルギー分布関数(IEDFs),およびイオンの表面フラックスのようなプラズマの動力学的パラメータの空間的変動は,電極温度を変えることによって制御できる。著者らのシミュレーション結果は,より高い電極温度が,直接イオン化速度の増加を引き起こす一方,ステップ-イオン化率は減少することを示した。さらに,加熱電極の使用は,反応器中心のEEPFと反応器エッジの間の差を減少させることが観察された。EEPF分布の改善された一貫性は,ウエハの中心と端部の間の膜品質の均一性が,種の組成比の均一性を改善することによって強化できることを意味する。Copyright 2022 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： イオン ,  イオン化 ,  *プラズマ ,  *シミュレーション ,  薄膜 ,  分布関数 ,  *電極 ,  反応器 ,  *プラズマ装置 ,  ホテル ,  成長速度
準シソーラス用語： *容量結合 ,  *容量結合プラズマ ,  イオンエネルギー ,  電子エネルギー ,  *プラズマリアクタ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： プラズマ装置  (BJ02082I) ,  プラズマ応用  (BJ02110K) ,  気体放電  (BJ03020T)

タイトルに関連する用語 (6件)： 容量結合プラズマ ,  リアクタ ,  加熱効果 ,  動力学的解析 ,  2D ,  研究