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J-GLOBAL ID：202202219579435505   整理番号：22A0909241

Wollastonプローブを用いる走査型熱顕微鏡法による薄膜熱伝導率測定の精度に及ぼす接触点非対称性の影響【JST・京大機械翻訳】

The effect of the contact point asymmetry on the accuracy of thin films thermal conductivity measurement by scanning thermal microscopy using Wollaston probes

著者 (5件)： Hapenciuc C. L. (National Institute for Lasers Plasma and Radiation Physics, 409 Atomistilor St., Magurele RO-77125, Romania) ,  Negut I. (National Institute for Lasers Plasma and Radiation Physics, 409 Atomistilor St., Magurele RO-77125, Romania) ,  Visan A. (National Institute for Lasers Plasma and Radiation Physics, 409 Atomistilor St., Magurele RO-77125, Romania) ,  Borca-Tasciuc T. (Mechanical Aerospace and Nuclear Engineering Department, Rensselaer Polytechnic Institute, 110 8th St., Troy, New York 12180-3590, USA) ,  Mihailescu I. N. (National Institute for Lasers Plasma and Radiation Physics, 409 Atomistilor St., Magurele RO-77125, Romania)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 131  号： 9  ページ： 094902-094902-15  発行年： 2022年 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 走査熱顕微鏡は,今日,バルクおよびナノ構造材料の熱伝導率測定に対して広く認識された技術である。Wollastonプローブは,現在,熱伝導率測定のための接触または非接触モードで使用されている。それらはバッチまたは実験室で製造でき,数ミクロンから数百ナノメートルまでの適切な空間分解能を提供する。接触点非対称性の結果として,熱伝導率測定に直接影響を与える平均温度上昇と関連するプローブ熱抵抗に影響する誤差に関する研究を報告した。新しく提案した理論モデルとその結果を,プローブの任意の種類とサイズに使用することができる。研究は,接触点に関して,プローブの3つの領域(左,中間,および右)に適用されるフィン拡散熱伝導方程式に基づいている。基板上の薄膜に対する熱伝導率測定をシミュレーションし,非対称接触点を用いて生ずる誤差を非対称の3つの値に対して推測した。次に,プローブ内の熱伝達の簡易モデルおよびプローブから試料を用いて得たシミュレーションと比較した。2つのモデルの精度を,最適のものを選択するために,比較分析した。文献からの実験データを用いて,非対称モデルの一次検証を行った。この解析は,この方法の実験精度および改善可能性に対する基準として役立つ。Copyright 2022 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 基板 ,  熱抵抗 ,  熱伝達 ,  *薄膜 ,  *プローブ ,  フィン ,  熱伝導方程式 ,  長さ ,  *非対称性 ,  モデル ,  平均気温 ,  *走査型プローブ顕微鏡 ,  ナノ材料
準シソーラス用語： 理論モデル ,  *走査型熱顕微鏡 ,  *熱伝導率測定 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： その他の熱的変量の計測法・機器  (AD06040R) ,  顕微鏡法  (BK01040E) ,  比熱・熱伝導一般  (BL05021E)

タイトルに関連する用語 (6件)： プローブ ,  走査型熱顕微鏡法 ,  薄膜 ,  熱伝導率測定 ,  接触点 ,  非対称性