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J-GLOBAL ID：202202221754144574   整理番号：22A0779300

Argonマイクロ波プラズマの反射および透過電気パラメータのパワーおよび空間依存特性評価【JST・京大機械翻訳】

Power- and Spatial-Dependent Characterization of Reflection and Transmission Electric Parameters of an Argon Microwave Plasma

著者 (3件)： Schopp Christoph (Institute for Microwave and Plasma Technology, Aachen University of Applied Sciences, Aachen, Germany) ,  Rohrbach Felix (Institute for Microwave and Plasma Technology, Aachen University of Applied Sciences, Aachen, Germany) ,  Heuermann Holger (Institute for Microwave and Plasma Technology, Aachen University of Applied Sciences, Aachen, Germany)
資料名： IEEE Transactions on Plasma Science  (IEEE Transactions on Plasma Science)
巻： 50  号： 2  ページ： 261-266  発行年： 2022年 
JST資料番号： D0036B  ISSN： 0093-3813  CODEN： ITPSBD  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,アルゴンマイクロ波プラズマの電力および空間依存性巨視的電気透過および反射特性を解析した。カスタム2ポート同軸プロトタイプを2電極間の可変空間ギャップで構築した。すべての測定は,大きな信号散乱パラメータ(Hot-S)測定環境の拡張に基づき,外部プローブのないプラズマ特性の決定のための概念実証である。プロトタイプの同軸トポロジーは固定基準インピーダンスを持ち,基準面は両方の電極の先端に位置する。広い帯域幅にわたって有効な等価集中要素回路を,プラズマの線形巨視的電磁反射と伝送特性をシミュレートするために調査した。その表現が1から3mmの入力電力とギャップの10から40Wまで測定をカバーすることができるので,直列共振回路を選択した。この回路により,プラズマのインピーダンス,電力,および空間次元間の連続関係を見出した。Copyright 2022 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 位相幾何学 ,  インピーダンス ,  *プラズマ ,  プローブ ,  電力 ,  アルゴン ,  伝送特性 ,  線形性 ,  帯域幅 ,  空間依存性 ,  ポート ,  キャラクタリゼーション ,  プロトタイプ
準シソーラス用語： Sパラメータ ,  *マイクロ波プラズマ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： プラズマ装置  (BJ02082I) ,  プラズマ応用  (BJ02110K)

タイトルに関連する用語 (5件)： マイクロ波プラズマ ,  透過 ,  パラメータ ,  パワー ,  特性評価