(η=η3-アリル)Ru(CO)_3X(X=Cl,Br,I)を用いた光活性化Ru化学蒸着  分子吸着からRu薄膜堆積まで【JST・京大機械翻訳】

Salazar Bryan G.; Brewer Christopher R.; McElwee-White Lisa; Walker Amy V.

文献

J-GLOBAL ID：202202221901384286 整理番号：22A0909532

(η=η3-アリル)Ru(CO)_3X(X=Cl,Br,I)を用いた光活性化Ru化学蒸着分子吸着からRu薄膜堆積まで【JST・京大機械翻訳】

Photoactivated Ru chemical vapor deposition using (η³-allyl)Ru(CO)₃X (X = Cl, Br, I): From molecular adsorption to Ru thin film deposition

出版者サイト複写サービスで全文入手 {{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=22A0909532&COPY=1") }}
高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=22A0909532&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=C0789B") }}

著者 (4件)： , , ,
資料名：
巻： 40 号： 2 ページ： 023404-023404-13 発行年： 2022年
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

(η3-アリル)Ru(CO)_3X(X=Cl,Br,I)前駆体を用いて官能化アルカンチオール自己組織化単分子膜(SAMs)上のRuの光支援化学蒸着(PACVD)を研究した。3つのSAMを-CH_3,-OH,または-COOH末端基で採用した。著者らのデータは,(η3-アリル)Ru(CO)_3Clが官能化SAM上に分子吸着し,Ru(0)は暗またはUV光のいずれかで析出しないことを示した。同様に,(η3-アリル)Ru(CO)_3Iは研究したすべての基質に分子吸着する。(η3-アリル)Ru(CO)_3Brは,UV光の下で長い堆積時間で,Ru(0)とRuO_xは,-CH_3-と-OH-末端SAM上に析出した。-COOH末端SAMとは対照的に,Ruは堆積せず,これはさらなる堆積を阻止するRu-カルボキシレート錯体の形成に起因した。密度汎関数理論計算は,観察された異なる堆積挙動が,カルボニル配位子の損失である一次光過程に起因しないが,むしろ,二次光プロセスである第二カルボニル配位子を失うのに必要なエネルギーに起因することを示した。まとめると,これらのデータは,PACVDが面積選択堆積に使用できることを示唆する。Copyright 2022 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

, , , , , , , , ,
, , , , , 【Automatic Indexing@JST】

物理的手法を用いた吸着の研究 , 金属薄膜 , 酸化物薄膜 , 薄膜成長技術・装置

, , , , , , , ,

前のページに戻る

(η=η3-アリル)Ru(CO)_3X(X=Cl,Br,I)を用いた光活性化Ru化学蒸着 分子吸着からRu薄膜堆積まで【JST・京大機械翻訳】

(η=η3-アリル)Ru(CO)_3X(X=Cl,Br,I)を用いた光活性化Ru化学蒸着分子吸着からRu薄膜堆積まで【JST・京大機械翻訳】