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J-GLOBAL ID：202202223313232891   整理番号：22A1749492

レーザー生成プラズマ極端紫外光源から発生する高速イオンのエネルギースペクトル

Energy spectra of fast ions from a laser-produced plasma EUV source

著者 (10件)： 東口武史 (宇都宮大) ,  中山勇冬 (宇都宮大) ,  新沼大登 (宇都宮大) ,  久米真樹 (宇都宮大) ,  森田大樹 (宇都宮大) ,  砂原淳 (パデュー大) ,  富田健太郎 (北大) ,  JIANG Weihua (長岡技科大) ,  難波慎一 (広島大) ,  江島丈雄 (東北大)
資料名： 電気学会研究会資料(Web)  (Papers of Technical Meeting, IEE Japan (Web))
号： EPP-22-060-065 放電・プラズマ・パルスパワー研究会  ページ： 1-6 (WEB ONLY)  発行年： 2022年05月15日 
JST資料番号： U2358A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： レーザ生成プラズマ極端紫外線(EUV)源からの電荷分離エネルギースペクトルについて報告した。電荷状態は13keVの最大エネルギーで11であることが観察された。簡単なエネルギー収支モデルを用いてレーザ強度スケーリングも示し,流体力学シミュレーションと比較した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *レーザプラズマ ,  *光源 ,  極端紫外線 ,  *イオン ,  エネルギー分布 ,  計算機シミュレーション ,  計算流体力学 ,  電荷分離 ,  リソグラフィー ,  エネルギー収支
準シソーラス用語： エネルギースペクトル ,  *レーザ生成プラズマ ,  *極端紫外光源 ,  *高速イオン ,  流体力学シミュレーション

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  プラズマ応用  (BJ02110K)

引用文献 (18件)：

• 「ムーアの法則, EUVで再起動へ」, 日経エレクトロニクス, No.1183 (9月号), p.22 (2017)
• https://iphone-mania.jp/news-443965/
• M. Neisser and H. J. Levinson : “Projecting EUV photo-speeds for future logic nodes”, Proc. SPIE, Vol.11323, Article number 113231N (2020)
• R. Amano, T.-H. Dinh, A. Sasanuma, G. Arai, H. Hara, Y. Fujii, T. Hatano, T. Ejima, W. Jiang, A. Sunahara, A. Takahashi, D. Nakamura, T. Okada, K. Sakaue, T. Miura, G. O’Sullivan, and T. Higashiguchi : “Influence of short pulse duration of carbon-dioxide lasers on extreme ultraviolet emission from laser produced plasmas”, Jpn. J. Appl. Phys. (Rapid Commun.), Vol.57, Article number 070311 (2018)
• P. Mayer, D. C. Brandt, I. Fomenkov, M. Purvis, and D. Brown : “Laser produced plasma EUV sources for N5 HVM and beyond: performance, availability and technology innovation”, Proc. SPIE, Vol.11609, Article number 1160918 (2021)

タイトルに関連する用語 (4件)： レーザー生成プラズマ ,  極端紫外光源 ,  高速イオン ,  エネルギースペクトル