文献

J-GLOBAL ID：202202225333501622   整理番号：22A1149136

高出力パルスマグネトロンスパッタリングにおけるリフレクトロン型飛行時間質量分析計を用いたプラズマ診断法の開発

Development of a Plasma Diagnostic Method for High Power Pulsed Magnetron Sputtering Using a Reflectron-Type Time-of-Flight Mass Spectrometer

著者 (3件)： 實方真臣 (東京工芸大学工学部) ,  塚本恵三 (株式会社アヤボ) ,  美齊津文典 (東北大学大学院理学研究科)
資料名： Journal of the Mass Spectrometry Society of Japan  (Journal of the Mass Spectrometry Society of Japan)
巻： 70  号： 1  ページ： 30-35(J-STAGE)  発行年： 2022年 
JST資料番号： G0046A  ISSN： 1340-8097  CODEN： JMSJEY  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・高出力パルスマグネトロンスパッタリングHPPMSを説明,HPPMS精密制御にはスパッタ粒子とイオンの生成をモニタするプラズマ診断法が不可欠。
・HPPMSのプラズマ診断法として,標準的な質量分析法,飛行時間質量分析法の適用と応用展開を解説,スパッタ粒子の生成過程と熱的な粒子輸送過程の情報観測。
・・PPMSno研究例,TiターゲットのMPPMSに対する飛行時間質量スペクトルの結果報告,プラズマ内の生成イオン種の時間変化を調査,成膜制御を期待。

シソーラス用語： *マグネトロンスパッタリング ,  *飛行時間法 ,  *質量分析 ,  *プラズマ診断 ,  *質量分析計 ,  チタン ,  質量スペクトル ,  チタン同位体 ,  チタン化合物 ,  金属イオン ,  経時変化 ,  Penningイオン化 ,  スパッタリング ,  真空紫外線 ,  レーザ脱離質量分析 ,  レーザビーム ,  光イオン化 ,  Nd-YAGレーザ
準シソーラス用語： チタン48 ,  チタンイオン ,  プラズマスパッタリング ,  *飛行時間型質量分析計

分類 (2件)： プラズマ診断  (BJ02090L) ,  質量スペクトル(分子)  (BH06100V)

引用文献 (36件)：

• 1) D. M. Mattox, “Handbook of Physical Vapor Deposition(PVD)Processing 2nd Ed.,” William Andrew, Norwich(2010).
• 2) W. D. Sproul, Surf. Coat. Technol., 81, 1(1996).
• 3) P. J. Kelly and R. D. Arnell, Vacuum, 56, 159(2000).
• 4) S. Schiller, K. Goedicke, J. Reschke, V. Kirchhoff, S. Schneider, and F. Milde, Surf. Coat. Technol., 61, 331(1993).
• 5) J. T. Gudmundsson, N. Brenning, D. Lundin, and U. Helmersson, J. Vac. Sci. Technol., A 30, 030801(2012).

タイトルに関連する用語 (7件)： 高出力 ,  パルス ,  マグネトロンスパッタリング ,  飛行時間 ,  質量分析計 ,  プラズマ診断 ,  開発