文献

J-GLOBAL ID：202202227616115459   整理番号：22A0909232

小型マイクロ波プラズマ中和器における非Maxwell電子エネルギー分布の実験的特性評価【JST・京大機械翻訳】

Experimental characterization of non-Maxwellian electron energy distributions in a miniaturized microwave plasma neutralizer

著者 (6件)： Sekine H. (Department of Aeronautics and Astronautics, The University of Tokyo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, Japan) ,  Minematsu R. (Department of Advanced Energy, The University of Tokyo, Kashiwa, Chiba 277-8561, Japan) ,  Ataka Y. (Department of Aeronautics and Astronautics, The University of Tokyo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, Japan) ,  Ominetti P. (Department of Aeronautics and Astronautics, The University of Tokyo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, Japan) ,  Koizumi H. (Department of Aeronautics and Astronautics, The University of Tokyo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, Japan) ,  Komurasaki K. (Department of Aeronautics and Astronautics, The University of Tokyo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, Japan)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 131  号： 9  ページ： 093302-093302-11  発行年： 2022年 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 電子エネルギー確率関数(EEPF)を,広い運転条件で小型マイクロ波放電中和器で実験的に同定した。アナログ分化法と組み合わせた小さなLangmuirプローブは,高エネルギー,低密度電子を含む約3桁にわたる正確な時間平均EEPFを提供した。非Maxwell,凹形EEPFを全ての実験条件で観察した。それらは高いガス圧でMaxwellianに接近し,そこでは吸収マイクロ波パワーでMaxwellから逸脱する。一般化EEPF理論により測定されたEEPFsを分析することにより,EEPFsの形状を決定する指数(Maxwellianは1)が0.7±0.15であることを見出した。イオン化周波数を,測定した非MaxwellEEPFを用いて推定し,1つは,約20%までのMaxwell近似でイオン化周波数を過小評価し,その値は,形状指数とほぼ負相関した。これらの結果は,マイクロ波放電中和器における電子流体モデルが電子温度とBohm速度の過大評価をもたらすことを示唆する。Copyright 2022 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： Langmuir探針 ,  圧力 ,  イオン化 ,  *プラズマ ,  *電子 ,  電子温度 ,  *マイクロ波 ,  分化 ,  近似法 ,  *エネルギー分布 ,  中和装置 ,  仕事率 ,  マイクロ波放電
準シソーラス用語： *マイクロ波プラズマ ,  高エネルギー ,  *電子エネルギー ,  ガス圧 ,  *電子エネルギー分布 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： プラズマ診断  (BJ02090L) ,  プラズマ一般  (BJ02010B)

タイトルに関連する用語 (5件)： マイクロ波プラズマ ,  中和器 ,  電子エネルギー分布 ,  実験 ,  特性評価