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J-GLOBAL ID：202202229403036801   整理番号：22A1148199

PLD法で作製した異方性Nd-Fe-B系磁石膜の膜厚が磁気特性に与える影響

Anisotropic Nd-Fe-B magnet film prepared by the PLD method Effect of film thickness on magnetic properties

著者 (5件)： 花田真一郎 (長崎大) ,  山下昂洋 (長崎大) ,  柳井武志 (長崎大) ,  中野正基 (長崎大) ,  福永博俊 (長崎大)
資料名： 電気学会全国大会講演論文集(CD-ROM)  (Annual Meeting Record, I.E.E. Japan (CD-ROM))
巻： 2022  ページ： ROMBUNNO.2-073  発行年： 2022年03月01日 
JST資料番号： S0653B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・高い成膜速度を持つパルスレーザ堆積を用いて,100μmを超えるNd-Fe-B系厚膜磁石を作製。
・ここでは,成膜中の基板加熱によって,Nd-Fe-B系磁石膜の異方化を試み,磁石膜厚みが結晶構造や磁気特性に与える影響を検討。
・成膜時にタリウム基板へ直流電流を通電することで基板を加熱し,異方性Nd-Fe-B系磁石膜を作製。
・膜厚が薄い試料は,厚い試料に比べて保磁力の値が大。
・膜厚が薄くなるに連れて,(105)や(006)面のピーク強度が大きくなっており,面直方向への異方化が進行。

シソーラス用語： *磁石 ,  *薄膜 ,  *パルスレーザ蒸着 ,  異方性 ,  ネオジム合金 ,  鉄合金 ,  ホウ素 ,  膜厚 ,  磁気的性質 ,  ヒステリシス ,  X線回折 ,  保磁力

分類 (1件)： 電磁石  (NA05080G)

引用文献 (3件)：

• M. Grigoras et al., Thin Solid Films, 665, (2018) pp.68-74.
• R. Fujiwara et al, int. J. Automobile Tech, 7, (2013) pp.196-204.
• M. Nakano, et al, IEEE Trans. Magn., 56, (2020) #7516303.

タイトルに関連する用語 (8件)： PLD法 ,  作製 ,  異方性 ,  Nd ,  Fe ,  磁石 ,  膜厚 ,  磁気特性