工業用多結晶シリコンウエハを組織化するためのエッチング法:包括的レビュー【JST・京大機械翻訳】

Sreejith K.P.; Sreejith K.P.; Sharma Ashok Kumar; Sharma Ashok Kumar; Basu Prabir Kanti; Kottantharayil Anil; Kottantharayil Anil

文献

J-GLOBAL ID：202202229558380932 整理番号：22A0836573

工業用多結晶シリコンウエハを組織化するためのエッチング法:包括的レビュー【JST・京大機械翻訳】

Etching methods for texturing industrial multi-crystalline silicon wafers: A comprehensive review

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資料名：
巻： 238 ページ： Null 発行年： 2022年
JST資料番号： D0513C ISSN： 0927-0248 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：文献レビュー発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

反射損失を抑制するための表面テクスチャリングは,太陽電池製造プロセスにおける第一および最優先段階である。長年にわたって,多結晶シリコン(mc-Si)ウエハ太陽電池は,それらの費用対効果のためにPV市場を支配した。本論文は,基本的な反応機構,使用される化学物質の一般組成,利点,欠点,およびそれらの商業化に向けた進歩の下で,mc-Siウエハを組織化するために報告された様々なエッチング法をレビューした。本論文は,mc-Si太陽電池生産の最初の日で使用されるアルカリエッチングプロセスを,そのプロセス制限と共に紹介した。続いて,確立された工業プロセスとして,アルカリエッチングと関連する課題に取り組むための酸テクスチャリングプロセスの進化を議論した。その後,反応性イオンエッチング,レーザエッチング,機械的溝加工およびコロイドリソグラフィーのような進行性だが高価なテクスチャリング法もレビューした。その後,確立された酸テクスチャリングプロセスにダイヤモンドワイヤ鋸(DWS)mc-Siウエハの導入で課せられた課題を示した。さらに,DWS mc-Siウエハの効果的なテクスチャリングに向けて報告された注目すべきアプローチを議論した。最後に,金属支援化学エッチングとして知られる,提案された次世代組織化スキームの,反応化学,最近のプロセス進歩,および将来のロードマップの要約を編集し,提示した。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

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太陽電池

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