Mullins Rita について
Tyndall National Institute, University College Cork, Cork T12 R5CP, Ireland について
Gutierrez Moreno Jose Julio について
Barcelona Supercomputing Center (BSC), C/Jordi Girona 31, 08034 Barcelona, Spain について
Nolan Michael について
Tyndall National Institute, University College Cork, Cork T12 R5CP, Ireland について
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films について
エッチング について
吸着 について
原子 について
高温 について
シミュレーション について
フッ化水素 について
金属酸化物 について
フッ素化 について
非晶質 について
結合部位 について
パルス について
加工速度 について
密度汎関数法 について
吸着サイト について
エッチング速度 について
ナノスケール について
固体デバイス製造技術一般 について
プラズマ応用 について
非晶質 について
増強 について
原子層エッチング について
起源 について