文献

J-GLOBAL ID：202202231974039994   整理番号：22A0590923

プラズマスパッタリング反応蒸着によるg-C_3N_4ナノコーンの成長に対する実験条件の影響【JST・京大機械翻訳】

Effects of experimental conditions on the growth of g-C₃N₄ nanocones by plasma sputtering reaction deposition

著者 (7件)： Wei Yanan (Department of Optical Science and Engineering, Shanghai Engineering Research Center of Ultra-Precision Optical Manufacturing, Fudan University, Shanghai 200433, P. R. China) ,  Du Pengxiang (Department of Optical Science and Engineering, Shanghai Engineering Research Center of Ultra-Precision Optical Manufacturing, Fudan University, Shanghai 200433, P. R. China) ,  Liu Yu (Department of Optical Science and Engineering, Shanghai Engineering Research Center of Ultra-Precision Optical Manufacturing, Fudan University, Shanghai 200433, P. R. China) ,  Sun Jian (Department of Optical Science and Engineering, Shanghai Engineering Research Center of Ultra-Precision Optical Manufacturing, Fudan University, Shanghai 200433, P. R. China) ,  Ying Zhifeng (Department of Optical Science and Engineering, Shanghai Engineering Research Center of Ultra-Precision Optical Manufacturing, Fudan University, Shanghai 200433, P. R. China) ,  Wu Jiada (Department of Optical Science and Engineering, Shanghai Engineering Research Center of Ultra-Precision Optical Manufacturing, Fudan University, Shanghai 200433, P. R. China) ,  Xu Ning (Department of Optical Science and Engineering, Shanghai Engineering Research Center of Ultra-Precision Optical Manufacturing, Fudan University, Shanghai 200433, P. R. China)
資料名： Functional Materials Letters  (Functional Materials Letters)
巻： 15  号： 1  ページ： 2251004  発行年： 2022年 
JST資料番号： W2401A  ISSN： 1793-6047  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： シンガポール (SGP)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： G-C_3N_4は可視光スペクトルで光触媒水素発生特性を持ち,近年広く研究されている。本論文では,結晶g-C_3N_4ナノコーンを,異なる基板前処理および真空アニーリング条件下でプラズマスパッタリング反応性蒸着によりシリコンウエハ上に調製した。光ルミネセンス(PL)分光法の結果は,シリコンウエハのための種々の前処理方法と条件がナノコーンの成長に影響を及ぼすことを示した。シリコンウエハの表面粗さが適切であるときのみ,完全形状および中程度の密度を有する良好な結晶性g-C_3N_4ナノコーンが得られた。さらに,異なるアニーリング温度もナノコーンの構造に影響し,高すぎるアニーリング温度もそれらを破壊する。Copyright 2022 World Scientific Publishing Company All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 真空 ,  光ルミネセンス ,  前処理 ,  結晶度 ,  スペクトル ,  可視光 ,  化学蒸着 ,  *蒸着 ,  光触媒
準シソーラス用語： アニーリング温度 ,  *プラズマスパッタリング ,  シリコンウエハ ,  *ナノコーン ,  水素発生 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： g-C_3N_4ナノコーン ,  プラズマスパッタリング反応蒸着 ,  光ルミネセンス分光法

分類 (2件)： セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V) ,  セラミック・磁器の性質  (YC03030G)

タイトルに関連する用語 (5件)： プラズマスパッタリング ,  蒸着 ,  コーン ,  成長 ,  実験条件