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J-GLOBAL ID：202202232662560223   整理番号：22A0696165

半導体製造における変化認定フレームワーク【JST・京大機械翻訳】

Change Qualification Framework in Semiconductor Manufacturing

著者 (2件)： Dass Sasitharan Nair (School of Mechanical Engineering, Engineering Campus, Universiti Sains Malaysia, Nibong Tebal, Malaysia) ,  Feng Chin Jeng (School of Mechanical Engineering, Engineering Campus, Universiti Sains Malaysia, Nibong Tebal, Malaysia)
資料名： IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing  (IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing)
巻： 35  号： 1  ページ： 87-101  発行年： 2022年 
JST資料番号： T0521A  ISSN： 0894-6507  CODEN： ITSMED  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ウエハ製造(Wafer Fab)は,最先端の,高価で,非常に複雑なプロセスを含み,その変化資格,すなわち,その変化が,プロセスフローにも,最終販売可能ウエハの品質と信頼性にも影響しないことを確実にする厳密な指針に従うプロセス,しか知られていない。本論文では,半導体製造における5段階変化認定フレームワークを提案した。ステージゲートモデルに基づくフレームワークを概念化し,効果的な意思決定のための適切な段階とゲートを定義する。その後,著者らは,事例研究を通してそのロバスト性を実証し,それは,ツール警報の発生を減らすことにおいて,変化認定プロセスのすべての段階を通して成功する要求者を指導する精巧な例を提供した。本フレームワークは,製造技術管理における標準プロセスフローとして,産業における展開に完全で準備できることを証明した。Copyright 2022 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 意思決定 ,  管理 ,  警報 ,  信頼性 ,  *製造 ,  *ウエハ【IC】 ,  事例研究 ,  生産技術 ,  ロバスト性
準シソーラス用語： 概念形成 ,  *半導体製造 ,  ウエハー製造 ,  プロセスフロー , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： 半導体製造 ,  認定 ,  フレームワーク