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J-GLOBAL ID：202202237128334546   整理番号：22A1008025

C_60およびC_70イオン衝撃によるAuスパッタリング収率に対する非線形効果【JST・京大機械翻訳】

Nonlinear effect on Au sputtering yield by C₆₀- and C₇₀-ion bombardment

著者 (6件)： NARUMI K. (QST) ,  YAMADA K. (QST) ,  HIRANO Y. (QST) ,  CHIBA A. (QST) ,  YURI Y. (QST) ,  SAITOH Y. (QST)
資料名： 量子科学技術研究開発機構資料(Web)  (QST-M (Web))
号： 33  ページ： 113 (WEB ONLY)  発行年： 2022年03月 
JST資料番号： U1319A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

引用文献 (3件)：

• H.H. Andersen et al., Phys. Rev. Lett. 80, 5433 (1998). S. Bouneau et al., Phys. Rev. B 65, 14106 (2002).
• K. Nakajima et al., Appl. Phys. Lett. 104, 114103 (2014).
• J.F. Ziegler, SRIM code version 2008.

タイトルに関連する用語 (4件)： イオン衝撃 ,  Au ,  スパッタリング収率 ,  非線形効果