文献
J-GLOBAL ID:202202237128334546
整理番号:22A1008025
C_60およびC_70イオン衝撃によるAuスパッタリング収率に対する非線形効果【JST・京大機械翻訳】
Nonlinear effect on Au sputtering yield by C60- and C70-ion bombardment
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