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J-GLOBAL ID:202202238339720924   整理番号:22A0396667

3D X点フレームワークのためのナノ結晶ZnO層の制御されたAgドーピングによる高信頼性選択挙動【JST・京大機械翻訳】

Highly Reliable Selection Behavior With Controlled Ag Doping of Nano-Polycrystalline ZnO Layer for 3D X-Point Framework
著者 (10件):
資料名:
巻: 43  号:ページ: 21-24  発行年: 2022年 
JST資料番号: B0344B  ISSN: 0741-3106  CODEN: EDLEDZ  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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このレターでは,容易な共スパッタリング蒸着技術を用いて,活性Ag金属層を組み込むことなしに,(002)優先配向を有するAgドーピングベースナノ多結晶ZnOスイッチング層(SL)を有する閾値スイッチング(TS)セレクタを明らかにした。%Ag濃度での約0.14の非常に制御されたドーピングを有するTSセレクタは,巨大選択性(約1011),極端な低電流(~10fA),高電流密度(約1.6MA/cm2),超高速スイッチング勾配(約0.8mV/decade),良好な耐久性(>106),高速スイッチオン速度(約38ns)及び緩和速度(~64ns)及び高いデバイス収率(~90%)のような顕著な電鋳(EF)フリー選択挙動を示した。さらに,セレクタデバイスは,単に~8%の分散を有する安定な閾値電圧(V_th)を有する再現性のある選択挙動を示した。Copyright 2022 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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