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J-GLOBAL ID：202202239100313387   整理番号：22A0576636

多様な基板への窒化チタン被覆のSEM-EDS厚み評価のための参照フリーモンテカルロ法の精度【JST・京大機械翻訳】

Accuracy of a reference-free Monte Carlo approach for SEM-EDS thickness assessment of TiN coatings onto diverse substrates

著者 (6件)： Cruz Juan P.N. (Departamento de Fisica, Universidad Nacional de Colombia, Av. Cra. 30 # 45-03, Ciudad Universitaria, Bogota, D.C., Colombia) ,  Garzon Carlos M. (Departamento de Fisica, Universidad Nacional de Colombia, Av. Cra. 30 # 45-03, Ciudad Universitaria, Bogota, D.C., Colombia) ,  Norena Johan K. (Departamento de Fisica, Universidad Nacional de Colombia, Av. Cra. 30 # 45-03, Ciudad Universitaria, Bogota, D.C., Colombia) ,  Pineda Fabian (Departamento de Quimica, Universidad Nacional de Colombia, Av. Cra. 30 # 45-03, Ciudad Universitaria, Bogota, D.C., Colombia) ,  Cachaya Juan. S. (Departamento de Fisica, Universidad Nacional de Colombia, Av. Cra. 30 # 45-03, Ciudad Universitaria, Bogota, D.C., Colombia) ,  Recco Abel A.C. (Departamento de Fisica, Universidade do Estado de Santa Catarina, Rua Paulo Malschitzki, 200, Campus Universitario Prof. Avelino Marcante, Joinville, SC, Brazil)
資料名： Micron  (Micron)
巻： 154  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： E0318E  ISSN： 0968-4328  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： エネルギー分散X線分光分析(EDS)実験を,ステンレス鋼(SS),シリコン,または窒化チタン窒化物被覆で覆われたガラス基板のトップの走査電子顕微鏡(SEM)で行った。公称被覆厚さは0.43,1.1,2.1および3.0μmであった。得られたEDSスペクトルから,基板から来る最強ピークと被覆からのTi_kピークの間の比を10と30kVの間の増加する顕微鏡加速電圧(V_0)で評価した。この比は,強度比(I_R)と呼ばれる。実験I_RとV_0からの被覆厚さを,被覆試料内部の電子の分散のモンテカルロシミュレーションと特性X線光子の同時発光を用いて評価する方法を開発した。3つのフリーウェアモンテカルログラフィカルユーザインタフェイスを使用して,予測厚さをそれらの間で比較した,すなわち,Casino,MC-Xray,およびDTSA。固定V_0において,数値シミュレーションは,I_Rと被覆厚さの間の単一値と滑らかな関係を予測する。被覆厚さに関するモンテカルロ予測をSEMで得られた断面顕微鏡写真によって独立に評価した参照厚さと比較した。予測と参照厚さの間のパーセント不一致の絶対値は30%以下であり,V_0が低ければ低いほど,予測厚みは不正確であった。一般に,予測厚みがそれらの間で著しく変化したけれども,ソフトウェアの3つの断片のどれも他のものを凌駕しなかった。20kVより高いV_0に対して,予測厚さの90%は参照値から15%未満であった。Si基板上の窒化チタン被覆の予測厚さは参照値に関して最大の不一致を示した。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *モンテカルロ法 ,  光子 ,  走査電子顕微鏡 ,  発光 ,  ケイ素 ,  ステンレス鋼 ,  *被覆 ,  *窒化 ,  *窒化物 ,  スペクトル ,  *チタン化合物 ,  ソフトウェア ,  エネルギー分散X線分光分析 ,  GUI【計算機】
準シソーラス用語： *窒化チタン ,  モンテカルロシミュレーション ,  数値シミュレーション , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： エネルギー分散分光法 ,  走査電子顕微鏡 ,  コーティングの厚さ ,  モンテカルロシミュレーション ,  窒化チタン窒化物

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (7件)： 窒化チタン ,  SEM ,  EDS ,  厚み ,  評価 ,  参照 ,  モンテカルロ法