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J-GLOBAL ID：202202240643654766   整理番号：22A1038284

反応性マグネトロン共スパッタリングにより加工したNi,Ni-窒化チタンおよびNi_90Cu_10-窒化チタン膜の微細構造,機械的およびナノトライボロジー特性【JST・京大機械翻訳】

Microstructure, Mechanical, and Nanotribological Properties of Ni, Ni-TiN, and Ni₉₀Cu₁₀-TiN Films Processed by Reactive Magnetron Cosputtering

著者 (2件)： Kumar Mukesh (Department of Physics, Faculty of Science, Shree Guru Gobind Singh Tricentenary University, Gurgaon, Delhi-NCR, India) ,  Sharma Ashutosh (Department of Materials Science and Engineering, Ajou University, Suwon, Gyeonggi-do 16499, Republic of Korea)
資料名： Advances in Materials Science and Engineering (Web)  (Advances in Materials Science and Engineering (Web))
巻： 2022  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： U7020A  ISSN： 1687-8434  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,ナノ結晶Ni,Ni-窒化チタンおよびNi_90Cu_10-窒化チタンコーティングを,ArおよびN_2ガス環境下でNi,CuおよびTiターゲットの反応性マグネトロン共スパッタリングを用いて処理した。コーティングの相発展と構造をX線回折(XRD)技術によって分析した。調製したままのナノ複合膜の形態を高分解能透過型電子顕微鏡(HRTEM)により調べた。調査した膜の弾性率,ナノ硬度およびスクラッチ抵抗をナノインデンテーション技術を用いて測定し,比較した。その結果,Ni,Ni-窒化チタンおよびNi_90Cu_10-窒化チタン被覆はナノ結晶構造を示した。Ni_90Cu_10-窒化チタンナノ複合膜は,複合材料マトリックスの分散硬化を著しく強化した追加の窒化チタン添加物により,最適なナノ硬度とトライボロジー特性を示した。Copyright 2022 Mukesh Kumar and Ashutosh Sharma. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： X線回折 ,  弾性係数 ,  アルゴン ,  *チタン ,  被覆 ,  *窒化 ,  *マグネトロン ,  *窒化物 ,  X線回折分析 ,  *チタン化合物 ,  *トライボロジー ,  ナノ結晶
準シソーラス用語： *窒化チタン ,  ナノ硬さ ,  *ナノトライボロジー ,  *トライボロジー特性 ,  スクラッチ ,  ナノ複合膜 ,  *同時スパッタリング , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 機械的性質  (WB02030U) ,  気相めっき  (WC08022K) ,  金属薄膜  (BK14030T)

引用文献 (43件)：

• E. Marchenko, G. Baigonakova, Y. Yasenchuk, "Gradient crystalline coating on a biomedical TiNi alloy prepared by magnetron sputtering and annealing," Vacuum, vol. 181, 2020.
• V. Gunther, Y. Yasenchuk, T. Chekalkin, E. Marchenko, S. Gunther, G. Baigonakova, V. Hodorenko, J.-H. Kang, S. Weiss, A. Obrosov, "Formation of pores and amorphous-nanocrystalline phases in porous TiNi alloys made by self-propagating high-temperature synthesis (SHS)," Advanced Powder Technology, vol. 30, no. 4, pp. 673-680, 2019.
• D. Han, H. Yang, M.-S. Kong, C. Lee, A. Sharma, B. Ahn, "High precision electrolytic polishing of Ni-Ti shape memory alloy for biomedical vascular stents," Materials Express, vol. 10, no. 8, pp. 1249-1259, 2020.
• Y. Zhao, K. Guo, J. Li, J. Sun, "Investigation on machinability of NiTi shape memory alloys under different cooling conditions," International Journal of Advanced Manufacturing Technology, vol. 116, no. 5-6, pp. 1913-1923, 2021.
• Z. G. Li, S. Miyake, M. Kumagai, H. Saito, Y. Muramatsu, "Hard nanocomposite Ti-Cu-N films prepared by d.c. reactive magnetron co-sputtering," Surface and Coatings Technology, vol. 183, no. 1, pp. 62-68, 2004.

タイトルに関連する用語 (9件)： 反応性 ,  マグネトロン ,  共スパッタリング ,  Ni ,  窒化チタン ,  窒化 ,  チタン膜 ,  微細構造 ,  トライボロジー特性