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J-GLOBAL ID：202202241191513246   整理番号：22A0956705

ビーム実験で研究した酸化ニッケルと銅のイオン誘起二次電子放出【JST・京大機械翻訳】

Ion-induced secondary electron emission of oxidized nickel and copper studied in beam experiments

著者 (3件)： Buschhaus R (Experimental Physics II-Reactive Plasmas, Ruhr-University Bochum, D-44780 Bochum, Germany) ,  Prenzel M (Experimental Physics II-Reactive Plasmas, Ruhr-University Bochum, D-44780 Bochum, Germany) ,  von Keudell A (Experimental Physics II-Reactive Plasmas, Ruhr-University Bochum, D-44780 Bochum, Germany)
資料名： Plasma Sources Science and Technology  (Plasma Sources Science and Technology)
巻： 31  号： 2  ページ： 025017 (13pp)  発行年： 2022年 
JST資料番号： W0479A  ISSN： 0963-0252  CODEN： PSTEEU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ターゲット表面でのイオン誘起二次電子発光は,実験室プラズマ,すなわちマグネトロンスパッタリング放電のための必須機構である。しかし,Electron放出は酸化のような標的条件自体によって強く影響を受ける。しかし,酸化標的のデータは,それらがプラズマの複雑な挙動のモデリングによってしばしば決定されるので,非常にまばらで,顕著な系統的誤差の傾向がある。従って,全ての他のプラズマ-表面相互作用からのイオン誘起電子放出のプロセスを分離することは困難である。イオンビームを利用して,複雑なプラズマ環境を避け,電子収率をより高い精度で決定する。本研究では,清浄,未処理(空気曝露)および意図的に酸化した銅およびニッケル表面のイオン誘起二次電子放出係数(SEEC)を,このような粒子ビーム実験で調べた。プリスチンと酸化金属箔を0.2keV~10keVのエネルギーで単一荷電アルゴンイオンのビームに曝露した。イオンビーム処理後,表面条件をex-situX線光電子分光法測定によって分析した。さらに,部分的に酸化した表面の電子放出に対するモデルを示し,これは実験データと一致した。酸化および未処理/空気曝露表面は,同じSEECを示さなかったが,意図的に酸化されたターゲットでは,電子収率は,未処理/空気曝露表面よりも2倍小さかった。酸化物のSEECは,清浄と未処理の金属表面の値の間にあることが分かった。さらに,SEECは未処理/空気曝露表面で最大で,清浄表面では最小であった。未処理/空気曝露および清浄表面の電子収率は,文献で報告された値と一致した。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *イオン ,  イオンビーム ,  *酸化 ,  プラズマ ,  帯電 ,  *電子放出 ,  *二次電子放出 ,  発光 ,  放電 ,  *銅 ,  *ニッケル ,  *酸化ニッケル ,  モデル ,  清浄面
準シソーラス用語： *二次電子 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： プラズマ応用  (BJ02110K) ,  プラズマ装置  (BJ02082I)

タイトルに関連する用語 (8件)： ビーム ,  実験 ,  研究 ,  酸化ニッケル ,  銅 ,  イオン ,  誘起 ,  二次電子放出