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J-GLOBAL ID：202202242178195338   整理番号：22A0456537

±300°/sフルスケール内の0.42°/hBias不安定性を有するウエハレベル真空パッケージMEMSディスク共振器ジャイロスコープ【JST・京大機械翻訳】

A Wafer-Level Vacuum Packaged MEMS Disk Resonator Gyroscope With 0.42°/h Bias Instability Within ±300°/s Full Scale

著者 (6件)： Wang Hao (Ministry of Education Key Laboratory of Micro and Nano Systems for Aerospace, Northwestern Polytechnical University, Xi’an, China) ,  Quan Haiyang (Beijing Microelectronics Technology Institute, Beijing, China) ,  Zhou Jinqiu (Beijing Microelectronics Technology Institute, Beijing, China) ,  Zhang Long (Beijing Microelectronics Technology Institute, Beijing, China) ,  Xie Jianbing (Ministry of Education Key Laboratory of Micro and Nano Systems for Aerospace, Northwestern Polytechnical University, Xi’an, China) ,  Chang Honglong (Ministry of Education Key Laboratory of Micro and Nano Systems for Aerospace, Northwestern Polytechnical University, Xi’an, China)
資料名： IEEE Transactions on Industrial Electronics  (IEEE Transactions on Industrial Electronics)
巻： 69  号： 5  ページ： 5304-5313  発行年： 2022年 
JST資料番号： C0234A  ISSN： 0278-0046  CODEN： ITIED6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文は,バイアス不安定性,測定範囲,およびサイズに関して,優れた全体的性能を有するMEMSディスク共振器ジャイロスコープ(DRG)を報告する。特に,完全充填電極MEMS DRGを提案し,センシング容量を23.66pFに改善し,容量を6.14pFに駆動した。DRGはウエハレベル真空包装プロセスを用いて製作され,小型フットプリントを可能にする構成可能なASICによって制御され,検知される。DRGは0.05°/hの角度ランダムウォークと±300°C/sの全スケール内で0.42°/hのバイアス不安定性を達成し,高エンド工業用途における角度測定の非常に有望な解決策となった。Copyright 2022 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *円板 ,  *共振器 ,  真空包装 ,  角度測定 ,  酔歩 ,  不安定性 ,  バイアス ,  *ジャイロスコープ ,  ASIC ,  *MEMS
準シソーラス用語： フットプリント ,  ウエハレベル , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 電力変換器  (NB08030B)

タイトルに関連する用語 (9件)： スケール ,  不安定性 ,  ウエハレベル ,  真空 ,  パッケージ ,  MEMS ,  ディスク ,  共振器 ,  ジャイロスコープ