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J-GLOBAL ID：202202244862333337   整理番号：22A1154009

窒化アルミニウム層上の転位分析のための欠陥選択的液滴エッチング剤としての溶融水酸化バリウム【JST・京大機械翻訳】

Molten Barium Hydroxide as Defect Selective Drop Etchant for Dislocation Analysis on Aluminum Nitride Layers

著者 (9件)： Matiwe Lucinda (Leibniz-Institut fuer Kristallzuechtung (IKZ), Max-Born-Strasse 2, D-12489, Berlin, Germany) ,  Hartmann Carsten (Leibniz-Institut fuer Kristallzuechtung (IKZ), Max-Born-Strasse 2, D-12489, Berlin, Germany) ,  Cancellara Leonardo (Leibniz-Institut fuer Kristallzuechtung (IKZ), Max-Born-Strasse 2, D-12489, Berlin, Germany) ,  Bickermann Matthias (Leibniz-Institut fuer Kristallzuechtung (IKZ), Max-Born-Strasse 2, D-12489, Berlin, Germany) ,  Klump Andrew (Leibniz-Institut fuer Kristallzuechtung (IKZ), Max-Born-Strasse 2, D-12489, Berlin, Germany) ,  Wollweber Juergen (Leibniz-Institut fuer Kristallzuechtung (IKZ), Max-Born-Strasse 2, D-12489, Berlin, Germany) ,  Hagedorn Sylvia (Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut fuer Hochstfrequenztechnik, Gustav-Kirchhoff-strasse 4, D-12489, Berlin, Germany) ,  Weyers Markus (Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut fuer Hochstfrequenztechnik, Gustav-Kirchhoff-strasse 4, D-12489, Berlin, Germany) ,  Straubinger Thomas (Leibniz-Institut fuer Kristallzuechtung (IKZ), Max-Born-Strasse 2, D-12489, Berlin, Germany)
資料名： Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science  (Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science)
巻： 219  号： 7  ページ： e2100707  発行年： 2022年 
JST資料番号： D0774A  ISSN： 1862-6300  CODEN： PSSABA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,MgO支援”ドロップ法”による有機金属気相エピタキシー(MOVPE)成長AlN層の欠陥エッチングのためのエッチング液NaOH/KOHとBa(OH)_2の適合性を比較した。新しいエッチング剤Ba(OH)_2の欠陥選択性を局所TEM分析により確認した。両エッチング液に対するa-,混合-及びc-型転位のエッチピットサイズの温度依存性(420~500°C)を,走査電子顕微鏡(SEM)画像の統計的評価により調べた。さらに,エッチングピット形状を,原子間力顕微鏡(AFM)測定により,460°Cでエッチングした試料に対して解析した。a-および混合型転位は両方のエッチング液に対して同等のサイズと形状のピットをもたらすが,c-型転位はすでにNaOH/KOHで低温でエッチングし,過エッチングとMgO析出をもたらす。対照的に,Ba(OH)_2は,低及び中エッチング温度でより小さなc型エッチピットを生成し,MgO析出物を生成せず,従って液滴エッチングに好ましい。Copyright 2022 Wiley Publishing Japan K.K. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *液滴 ,  *エッチング ,  析出物 ,  走査電子顕微鏡 ,  低温 ,  *転位【結晶】 ,  水酸化ナトリウム ,  酸化マグネシウム ,  温度依存性 ,  エッチピット ,  水酸化バリウム ,  *窒化アルミニウム ,  MOCVD ,  *エッチング液 ,  原子間力顕微鏡

著者キーワード (3件)： AlN結晶 ,  水酸化バリウム ,  欠陥エッチング

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (9件)： 窒化 ,  アルミニウム層 ,  転位 ,  分析 ,  欠陥 ,  液滴 ,  エッチング剤 ,  溶融 ,  水酸化バリウム