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J-GLOBAL ID：202202246766165600   整理番号：22A1104734

バイオセンシング応用のための高効率空気クラッド型シリコン-窒化物リング共振器【JST・京大機械翻訳】

High-Efficiency Air-Clad Type Silicon-Nitride Ring-Resonator for Bio-Sensing Applications

著者 (14件)： Atthi Nithi (National Electronics and Computer Technology Center (NECTEC),Chachoengsao,Thailand) ,  Mendez-Astudillo Manuel (Ansys Inc.) ,  Udomsom Suruk (Chiang Mai University (CMU)) ,  Matsumoto Atsushi (Waseda University) ,  Yamwong Wittawat (National Electronics and Computer Technology Center (NECTEC),Chachoengsao,Thailand) ,  Klunngien Nipapan (National Electronics and Computer Technology Center (NECTEC),Chachoengsao,Thailand) ,  Mankong Ukrit (Chiang Mai University (CMU)) ,  Pinlaor Somchai (Khon Kaen University (KKU)) ,  Imai Kazuo (Imai Engineering) ,  Angkaew Tuptim (Chulalongkorn University (CU)) ,  Kanno Atsushi (National Institute of Information and Communications Technology (NICT)) ,  Yamamoto Naokatsu (National Institute of Information and Communications Technology (NICT)) ,  Kawanishi Tetsuya (Waseda University) ,  Umezawa Toshimasa (National Institute of Information and Communications Technology (NICT))
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2022  号： iEECON  ページ： 1-4  発行年： 2022年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,シリコンフォトニック(SiPh)デバイスのための空気クラッディングとSiO_2クラッディングで挟んだ高効率窒化ケイ素(SiN)ベースの空気クラッド型リング共振器を実証した。シミュレーション結果は,400nm厚のSiN導波路が7.2dBの結合損失で最大の結合効率を有することを示した。単一リソグラフィー(ステッパ)と反応性イオンエッチングステップによるCMOS互換プロセスを用いて,高品質SiN導波路をシリコンウエハ反りなしで作製した。3.9nmの自由スペクトル範囲を有するリング共振器の光学出力特性を得た。この装置は,脱イオン水中で50~1000mMoleのNaCl濃度を検出できる。したがって,SiN導波路格子結合器は,バイオセンシング応用のための有望なSiPhデバイスの1つである。Copyright 2022 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： シミュレーション ,  塩化ナトリウム ,  スペクトル ,  リソグラフィー ,  窒化ケイ素 ,  *リング共振器 ,  導波路 ,  RIE【エッチング】 ,  *バイオセンサ ,  ステッパ ,  CMOS
準シソーラス用語： *高効率 ,  シリコンウエハ ,  光出力 ,  格子結合器 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (7件)： バイオセンシング ,  応用 ,  高効率 ,  クラッド ,  シリコン ,  窒化物 ,  リング共振器