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J-GLOBAL ID：202202249757273776   整理番号：22A1048962

半導体製造施設における拡散炉のジョブスケジューリング【JST・京大機械翻訳】

Job scheduling of diffusion furnaces in semiconductor fabrication facilities

著者 (4件)： Wu Kan (Department of Industrial and Business Management, Chang Gung University, Taoyuan, Taiwan) ,  Huang Edward (Systems Engineering and Operations Research Department, George Mason University, Fairfax, VA, United States of America) ,  Wang Mengchang (Machine Learning Lab of Alibaba, Hangzhou, China) ,  Zheng Meimei (School of ME, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai, China)
資料名： European Journal of Operational Research  (European Journal of Operational Research)
巻： 301  号： 1  ページ： 141-152  発行年： 2022年 
JST資料番号： A0547A  ISSN： 0377-2217  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Furnacesは,半導体プロセスフローの中間部分にフロントエンドで一般に見られ,それらのスケジューリングは半導体製造において主要な役割を果たす。炉のジョブスケジューリングは,日付とプロセス制約により仕事に付着しながら,毎日の生産目標を満たす必要がある。炉スケジューリング問題は,バッチ処理,リエンタンス,および時間ウィンドウに限らず,複雑な制約を有する柔軟なジョブショップスケジューリングの特別なクラスに属する。この問題はNP困難である。極めて大きな解空間は,最適化技術の直接的な応用を妨げる。本論文では,動的プログラミング定式化に基づいて解空間を低減するいくつかの特性を同定した。これらの特性の助けを借りて,この問題に対する良好な解を見つけるための効率的なアルゴリズムを開発した。開発した方法を実際の生産ラインに実装した。既存の方法と比較して,開発したアルゴリズムは,より高いスループット比率を与えて,スケジューリング効率を改良した。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： アルゴリズム ,  *拡散 ,  *半導体 ,  *スケジューリング ,  動的計画法 ,  バッチ処理 ,  最適化手法 ,  ジョブショップスケジューリング ,  スループット ,  生産ライン ,  定式化 ,  NP困難
準シソーラス用語： *ジョブスケジューリング ,  *半導体製造 ,  解空間 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： 製造 ,  スケジューリング ,  動的計画法

分類 (2件)： 工程管理  (KB03030P) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 半導体製造 ,  施設 ,  拡散 ,  ジョブスケジューリング