グリオキシル酸Cu錯体からのフェムト秒レーザCu還元析出の動的観察

溝尻瑞枝; 大森元貴; NAM Ha Phuong; 大石知司

文献

J-GLOBAL ID：202202250473543438 整理番号：22A1072989

グリオキシル酸Cu錯体からのフェムト秒レーザCu還元析出の動的観察

Dynamic Observation of Femtosecond-Laser-Induced Cu Precipitation from Glyoxylic Acid Copper Complex

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資料名：
巻： 28th ページ： 179-182 発行年： 2022年02月01日
JST資料番号： L2496A 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

・CO₂レーザやフェムト秒レーザを用いたCuの還元析出や各種金属錯体の調整とレーザ析出描画に取り組んでおり,ガラス基板だけでなくポリジメチルシロキサンへの描画も可能なことを報告。
・しかし,基板の熱物性と析出の影響,Cu析出過渡現象は不明なため,本研究では,熱物性が異なる基板にグリオキシル酸Cu錯体インクを用いてCu析出描画を行い,析出過渡現象を高速度カメラで動的に観察。
・熱伝導率が低いSiO₂ガラス基板上ではCu析出速度が速く,熱伝導率が高いSiやAl₂O₃基板状では析出速度が低下し,基板の熱物性が加熱に大きく影響することが判明。

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固体デバイス製造技術一般 , プリント回路

引用文献 (11件)：

B. Kang, S. Han, J. Kim, S. Ko, M. Yang,“One-step fabrication of copper electrode by laser-induced direct local reduction and agglomeration of copper oxide nanoparticle”, Journal of Physical Chemistry C, 115, (2011), pp.23664-23670.
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H. Lee, Yang, M.,“Effect of solvent and PVP on electrode conductivity in laser-induced reduction process”, Applied Physics A119 (2015) pp.317-323.
M. Mizoshiri and K. Yoshidomi,“Cu Patterning Using Femtosecond Laser Reductive Sintering of CuO Nanoparticles under Inert Gas Injection”, Materials, 14 (2021) 3285.

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