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J-GLOBAL ID：202202250941534285   整理番号：22A0848396

二重スタックAlNセンサとアクチュエータによるAFMマイクロカンチレバーのQ制御【JST・京大機械翻訳】

Q Control of an AFM Microcantilever With Double-Stack AlN Sensors and Actuators

著者 (3件)： Mahmoodi Nasrabadi Hazhir (Erik Johnsson School of Engineering and Computer Science, The University of Texas at Dallas, Richardson, TX, USA) ,  Mahdavi Mohammad (Erik Johnsson School of Engineering and Computer Science, The University of Texas at Dallas, Richardson, TX, USA) ,  Moheimani S. O. Reza (Erik Johnsson School of Engineering and Computer Science, The University of Texas at Dallas, Richardson, TX, USA)
資料名： IEEE Sensors Journal  (IEEE Sensors Journal)
巻： 22  号： 5  ページ： 3957-3964  発行年： 2022年 
JST資料番号： W1318A  ISSN： 1530-437X  CODEN： ISJEAZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 集積アクチュエータ/センサ対を有するアクティブ原子間力顕微鏡(AFM)カンチレバーは,光学変位センサと連動して作動する従来のベース励起カンチレバーよりも大きなフィードスルーを示す。カンチレバーのQ因子を制御するために,このフィードスルーは打ち消すか,あるいは大幅に低減する必要がある。二重積層センサ/アクチュエータ対を有するAFMマイクロカンチレバーを用いて,フィードスルー除去問題に対処した。本装置は,2つのセンサ信号,即ち,変位センシングに用いる1つと速度測定のもう1つは,後者をフィードバックに用いた。読み出し回路を設計し,変位信号を感知し,速度フィードバック制御器を実現した。この方法で,Q因子を390から30に低減できた。Copyright 2022 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 励起 ,  フィードバック制御 ,  *片持梁 ,  変位 ,  Q値 ,  アクチュエータ ,  *窒化アルミニウム ,  速度測定 ,  センサ ,  集積 ,  原子間力顕微鏡
準シソーラス用語： 読出回路 ,  フィードスルー ,  変位センサ ,  マイクロカンチレバー , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： スタック ,  AlN ,  アクチュエータ ,  AFM ,  マイクロカンチレバー