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J-GLOBAL ID：202202250949708056   整理番号：22A0190848

ナノプローブ技術標準化の動向

Standardization of Nanoprobe Technology

著者 (1件)： 井藤浩志 (産業技術総合研 計量標準総合セ 分析計測標準研究部門)
資料名： Hitachi Scientific Instrument News (Web)  (Hitachi Scientific Instrument News (Web))
巻： 63  号： 1  ページ： 5527-5532 (WEB ONLY)  発行年： 2020年03月31日 
JST資料番号： U2654A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・走査型トンネル顕微鏡(STM)を初めとするナノプローブ技術の産業応用に伴う,米国に始まる技術標準化の進展・動向を紹介。
・用語に加えてカンチレバーのばね定数,形状に関するISO規格,特にカンチレバーの特性評価については詳述。
・原子間力顕微鏡(AFM)のドリフトレート計測に関する規定も紹介。

シソーラス用語： *走査型プローブ顕微鏡 ,  *マイクロプローブ ,  *標準化 ,  *技術 ,  *走査型トンネル顕微鏡 ,  片持梁 ,  *原子間力顕微鏡
準シソーラス用語： *AFM【顕微鏡】 ,  *STM【顕微鏡】 ,  カンチレバー ,  *ナノプローブ ,  開発動向 ,  *技術標準化 ,  *走査プローブ顕微鏡

分類 (3件)： 顕微鏡法  (BK01040E) ,  科学技術の標準化・規格  (AA05000J) ,  技術の標準化・規格  (HA02000V)

引用文献 (9件)：

• ISO 18115-2:2013 Terms used in scanning-probe microscopy
• ISO 28600:2011 Data transfer format for scanning-probe microscopy
• ISO 27911:2011 Definition and calibration of the lateral resolution of a near-field optical microscope
• ISO 11039:2012 Measurement of drift rate
• ISO 11952:201 Determination of geometric quantities using SPM: Calibration of measuring systems

タイトルに関連する用語 (3件)： ナノプローブ ,  標準化 ,  動向