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J-GLOBAL ID：202202260660687721   整理番号：22A1156222

スパッタITO/Ag/ITO膜:成長窓とAg/ITO界面特性【JST・京大機械翻訳】

Sputtered ITO/Ag/ITO Films: Growth Windows and Ag/ITO Interfacial Properties

著者 (8件)： Lei Pei (Beijing Engineering Research Center of Advanced Structural Transparencies for the Modern Traffic System, Beijing Institute of Aeronautical Materials, AECC, Beijing, China) ,  Chen Xiaoting (Leiden Institute of Chemistry, Leiden University, Leiden, The Netherlands) ,  Yan Yue (Beijing Engineering Research Center of Advanced Structural Transparencies for the Modern Traffic System, Beijing Institute of Aeronautical Materials, AECC, Beijing, China) ,  Zhang Xuan (Beijing Engineering Research Center of Advanced Structural Transparencies for the Modern Traffic System, Beijing Institute of Aeronautical Materials, AECC, Beijing, China) ,  Hao Changshan (Beijing Engineering Research Center of Advanced Structural Transparencies for the Modern Traffic System, Beijing Institute of Aeronautical Materials, AECC, Beijing, China) ,  Peng Jingjing (Beijing Engineering Research Center of Advanced Structural Transparencies for the Modern Traffic System, Beijing Institute of Aeronautical Materials, AECC, Beijing, China) ,  Ji Jianchao (Beijing Engineering Research Center of Advanced Structural Transparencies for the Modern Traffic System, Beijing Institute of Aeronautical Materials, AECC, Beijing, China) ,  Zhong Yanli (Beijing Engineering Research Center of Advanced Structural Transparencies for the Modern Traffic System, Beijing Institute of Aeronautical Materials, AECC, Beijing, China)
資料名： Journal of Electronic Materials  (Journal of Electronic Materials)
巻： 51  号： 5  ページ： 2645-2651  発行年： 2022年 
JST資料番号： D0277B  ISSN： 0361-5235  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 酸化物-金属酸化物(OMO)多層膜は,高い光透過性と低い電気抵抗率を含むその高い性能のために興味が増大しており,従来の酸化インジウムスズ(ITO)膜の有望な代替品と考えられている。本研究では,スパッタITO/Ag/ITO多層膜の性能に対する成長パラメータの役割を調べた。89.1%の透過率の優れた特性と8Ω/□のシート抵抗を有するITO/Ag/ITO膜を調製した。光学的および特性に及ぼす膜厚の偏差の影響を系統的に調べた。5nm以下の厚さを有する超薄ITO_1-x膜はAg酸化を効果的に避けるために活性Ag表面を被覆し,高い透過率と伝導率の両方をもたらす。X線光電子分光深さプロファイル分析は,Ag表面酸化における超薄ITO_1-x膜の役割を示した。本研究は高品質OMO系膜とデバイスを作製する指針を提供する。Copyright The Minerals, Metals & Materials Society 2022 Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 酸化 ,  電気抵抗率 ,  *銀 ,  金属酸化物 ,  多層膜 ,  透過率 ,  X線光電子分光法 ,  シート抵抗 ,  深さプロフィル ,  酸化インジウムスズ ,  導電性
準シソーラス用語： 表面酸化 ,  高品質 ,  *界面特性 ,  伝導率 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 透明導電性多層膜 ,  ITO/Ag/ITO ,  マグネトロンスパッタリング ,  Ag酸化 ,  光学的および電気的性質

分類 (2件)： 発光素子  (NC03082G) ,  その他の電気・電子部品  (NA05090R)

タイトルに関連する用語 (7件)： スパッタ ,  ITO ,  Ag ,  ITO膜 ,  成長 ,  窓 ,  界面特性