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J-GLOBAL ID：202202261078633167   整理番号：22A1052355

スパッタリング条件の操作によるシリコンドープ窒化チタン被覆の熱的及び機械的安定性の増強【JST・京大機械翻訳】

Enhancement of thermal and mechanical stabilities of silicon doped titanium nitride coating by manipulation of sputtering conditions

著者 (10件)： Mohammadpour Ehsan (Surface Analysis and Materials Engineering Research Group, College of Science, Health, Engineering and Education, Murdoch University, Murdoch, WA, 6150, Australia) ,  Liew Willey Yun Hsien (Faculty of Engineering, Universiti Malaysia Sabah, Jalan UMS, 88400, Kota Kinabalu, Sabah, Malaysia) ,  Mondinos Nicholas (Surface Analysis and Materials Engineering Research Group, College of Science, Health, Engineering and Education, Murdoch University, Murdoch, WA, 6150, Australia) ,  Altarawneh Mohammednoor (Department of Chemical and Petroleum Engineering, United Arab Emirates University, Sheikh Khalifa Bin Zayed Street, Al-Ain, 15551, United Arab Emirates) ,  Lee Sunghwan (School of Engineering Technology, Purdue University, West Lafayette, IN, 47907, United States) ,  Radevski Nik (Surface Analysis and Materials Engineering Research Group, College of Science, Health, Engineering and Education, Murdoch University, Murdoch, WA, 6150, Australia) ,  Minakshi Manickam (College of Science, Health, Engineering and Education, Murdoch University, Murdoch, WA, 6150, Australia) ,  Amri Amun (Department of Chemical Engineering, Universitas Riau, Pekanbaru, 28293, Indonesia) ,  Lim Hong Ngee (Department of Chemistry, Faculty of Science, University Putra Malaysia, 43400, UPM, Serdang, Selangor, Malaysia) ,  Jiang Zhong-Tao (Surface Analysis and Materials Engineering Research Group, College of Science, Health, Engineering and Education, Murdoch University, Murdoch, WA, 6150, Australia)
資料名： Journal of Materials Research and Technology  (Journal of Materials Research and Technology)
巻： 17  ページ： 1122-1131  発行年： 2022年 
JST資料番号： W3532A  ISSN： 2238-7854  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,TiおよびSiターゲットから誘導されるマグネトロンスパッタTiSiN被覆の機械的特性に及ぼす基板(AISI M42工具鋼)バイアス電圧(-30から-80V)の影響を調べた。堆積したTiSiNコーティングの熱安定性,微細構造(微結晶サイズ,ミクロ歪,格子定数),形態,および機械的(硬度,Young率,残留応力)特性を,シンクロトロン駆動X線回折(SR-XRD),X線光電子分光法,電界放出走査電子顕微鏡,およびナノインデンテーション技術で調査した。25~800°Cの温度範囲でのin-situ SR-XRDのRietveld解析は,(Ti,Si)N固溶体中の立方晶窒化チタン形を示し,TiO_2とTi_2O_3はより低いバイアス電圧で同定された。密度汎関数理論は実験結果を補足した。バイアス電圧の増加は,生じた。(i)Si含有量の減少,(ii)表面形態の著しい平滑化,(iii)相組成と微細構造の変化,(iv)耐酸化性と熱酸化閾値の改善,(v)被覆の硬さとYoung率は,それぞれ50%から33GPaと450GPaまで増加した。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： X線回折 ,  Young率 ,  格子定数 ,  固溶体 ,  残留応力 ,  微結晶 ,  電圧 ,  ケイ素 ,  *チタン ,  *被覆 ,  耐酸化性 ,  *窒化物 ,  X線回折分析 ,  *チタン化合物 ,  立方晶系 ,  Rietveld法
準シソーラス用語： *窒化チタン ,  バイアス電圧 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： シンクロトロン放射 ,  熱安定性 ,  機械的性質 ,  酸化 ,  Bias電圧 ,  TiSiN

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (6件)： スパッタリング ,  シリコン ,  ドープ ,  窒化チタン ,  機械的安定性 ,  増強