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J-GLOBAL ID：202202263987452612   整理番号：22A0261655

微細エンボス加工による微細金属素子の作製法

Fabrication Method of Small Metallic Elements by Ultrafine Embossing

著者 (3件)： 吉野雅彦 (東京工大) ,  青柳友之 (東京工大) ,  中川佑貴 (東京工大)
資料名： 日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM)  (日本機械学会年次大会(CD-ROM))
巻： 2020  ページ： ROMBUNNO.J13101  発行年： 2020年09月07日 
JST資料番号： X0587C  ISSN： 2424-2667  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 光学機能表面として応用が期待される微細金属素子を効率的に作製する方法の確立を目指し,エンボス加工を利用した作製法を検討した。ダイヤモンド製工具にFIBにて微細凹型形状を加工し,ガラス基板上に成膜した金薄膜を被加工材として工具を押し付けてエンボス加工を行った。さらに数値シミュレーションとの比較に基づきエンボス加工で微細金属素子を作製する場合の加工条件と成型高さの関係を定性的に明らかにした。さらに,エンボス加工した薄膜にエッチングを施し,分離した微細金属素子を作製する方法を検討した。(著者抄録)

シソーラス用語： *マイクロマシニング ,  *エンボス加工 ,  微細構造 ,  金属組織 ,  *金属薄膜 ,  機能素子 ,  光学素子

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  プレス加工  (WC04050H)

タイトルに関連する用語 (3件)： 微細 ,  エンボス加工 ,  作製法