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J-GLOBAL ID：202202264986338149   整理番号：22A0152903

標準漏れ要素としてのチューブ上のナノ流体チップ【JST・京大機械翻訳】

Nanofluidic chip on tube as standard leak elements

著者 (9件)： Lin Wenyu (School of Mechanical Engineering, Hefei University of Technology, Hefei 230009, China) ,  Zhang Huzhong (Science and Technology on Vacuum Technology and Physics Laboratory, Lanzhou Institute of Physics, Lanzhou 730000, China) ,  Xi Zhenhua (Science and Technology on Vacuum Technology and Physics Laboratory, Lanzhou Institute of Physics, Lanzhou 730000, China) ,  Bi Hailin (School of Mechanical Engineering, Hefei University of Technology, Hefei 230009, China) ,  Luo Yan (Institute of Microelectronics of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China) ,  Wang Kuibo (Institute of Microelectronics of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China) ,  Cao Qing (School of Mechanical Engineering, Hefei University of Technology, Hefei 230009, China) ,  Wang Xudi (School of Mechanical Engineering, Hefei University of Technology, Hefei 230009, China) ,  Wu Xiaobin (Institute of Microelectronics of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China)
資料名： Measurement  (Measurement)
巻： 187  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： W0315B  ISSN： 0263-2241  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 100nm深さと3μm幅のチャネルを有するナノ流体チップを,真空技術応用のための分子流標準漏れ要素として採用した。ナノ流体チップをMEMS技術で製作し,一方,マクロマイクロ接続をガラス融合接合と標準Swagelok Fittingを用いて達成した。アニーリング温度と保持時間の選択は融合接合に関する重要課題であり,最適加工パラメータは780°C,5分である。一方,融合接合とフィッティング接続の密封信頼性を評価した。実験は,製造したままの漏れの流動コンダクタンスがHe,N_2およびArに対して10-13m3・s-1の大きさに達することを示した。この標準漏れは,制御された寸法,信頼できる接続,および105Paの範囲の一定の流れコンダクタンスの利点を有する。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： ガラス ,  真空技術 ,  接合 ,  分子流 ,  信頼性 ,  アルゴン ,  気体流 ,  保持時間 ,  チャネル ,  *コンダクタンス ,  MEMS
準シソーラス用語： アニーリング温度 ,  *ナノ流体 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 標準漏れ ,  ナノ流体チップ ,  マクロ-マイクロ接続 ,  気密性試験 ,  コンダクタンス測定 ,  マイクロガス流

分類 (2件)： 分光法と分光計一般  (BD07041Q) ,  AD・DA変換回路  (NC05080M)

タイトルに関連する用語 (4件)： 標準 ,  要素 ,  チューブ ,  ナノ流体チップ