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J-GLOBAL ID：202202265840751243   整理番号：22A0004209

酸素プラズマ支援によるZrとHfターゲットのパルスレーザ共アブレーションにより蒸着したZr_xHf_1-xO_2膜の構造と光学特性【JST・京大機械翻訳】

Structure and optical properties of Zr_xHf_1-xO₂ films deposited by pulsed laser co-ablation of Zr and Hf targets with the assistance of oxygen plasma

著者 (8件)： Yao Chujun (Engineering Research Center of Ultra-Precision Optical Manufacturing (Shanghai), Department of Optical Science and Engineering, School of Information Science and Technology, Fudan University, Shanghai, 200433, China) ,  Zhang Dong (Engineering Research Center of Ultra-Precision Optical Manufacturing (Shanghai), Department of Optical Science and Engineering, School of Information Science and Technology, Fudan University, Shanghai, 200433, China) ,  Wu Li (Engineering Research Center of Ultra-Precision Optical Manufacturing (Shanghai), Department of Optical Science and Engineering, School of Information Science and Technology, Fudan University, Shanghai, 200433, China) ,  Xu Ning (Engineering Research Center of Ultra-Precision Optical Manufacturing (Shanghai), Department of Optical Science and Engineering, School of Information Science and Technology, Fudan University, Shanghai, 200433, China) ,  Sun Jian (Engineering Research Center of Ultra-Precision Optical Manufacturing (Shanghai), Department of Optical Science and Engineering, School of Information Science and Technology, Fudan University, Shanghai, 200433, China) ,  Sun Jian (Yiwu Research Institute of Fudan University, Yiwu, 322000, Zhejiang, China) ,  Sun Jian (Key Laboratory for Micro and Nano Photonic Structures (MOE), Fudan University, Shanghai, 200433, China) ,  Wu Jiada (Engineering Research Center of Ultra-Precision Optical Manufacturing (Shanghai), Department of Optical Science and Engineering, School of Information Science and Technology, Fudan University, Shanghai, 200433, China)
資料名： Ceramics International  (Ceramics International)
巻： 48  号： 1  ページ： 587-596  発行年： 2022年 
JST資料番号： H0705A  ISSN： 0272-8842  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： グループIVB金属酸化物は,それらの優れた光学的,機械的,電気的,化学的および熱的特性のために,様々な分野で多くの潜在的用途を実証した。本研究では,可変組成を有する三元酸化物Zr_xHf_1-xO_2膜を,O_2ガスの電子サイクロトロン共鳴マイクロ波放電により発生した酸素プラズマ中のZrターゲットとHfターゲットのパルスレーザ共アブレーションにより堆積した。酸素プラズマは,ZrとHfターゲットから除去されたZrとHf種を有する酸化物を合成するために,高濃度の活性酸素種を含む環境を提供した。蒸着膜の構造を特性化し,光学的性質を構造及び光学特性に及ぼす堆積後アニーリングの影響の試験と共に評価した。三元Zr_xHf_1-xO_2膜は,構造と光学的性質において,2元ZrO_2とHfO_2膜で非常に類似している。それらは単斜晶構造を持ち,中間紫外から中赤外までの広いスペクトル領域で非常に透明である。紫外吸収端と光学バンドギャップは,ターゲットをアブレーションするレーザビームのパルスエネルギーによってわずかに変化した。N_2中でのアニーリングは膜構造の改善をもたらした。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *光学的性質 ,  *プラズマ ,  蒸着膜 ,  焼なまし ,  赤外線 ,  *ジルコニウム ,  *ハフニウム ,  *パルスレーザ ,  スペクトル ,  単斜晶系 ,  *蒸着 ,  *アブレーション ,  活性酸素 ,  光学ギャップ
準シソーラス用語： *酸素プラズマ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 薄膜 ,  酸化物材料 ,  Zr_xHf_1-xO膜 ,  共アブレーション蒸着 ,  プラズマ支援蒸着 ,  光学特性

分類 (1件)： セラミック・磁器の性質  (YC03030G)

タイトルに関連する用語 (9件)： 酸素プラズマ ,  支援 ,  Zr ,  HF ,  ターゲット ,  パルスレーザ ,  アブレーション ,  蒸着 ,  光学特性