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J-GLOBAL ID：202202267580992564   整理番号：22A0727111

薄膜の化学的品質管理のためのALD中のTOFMSによる元素と分子のリアルタイムin situ平行検出【JST・京大機械翻訳】

Real-Time In Situ Parallel Detection of Elements and Molecules with TOFMS during ALD for Chemical Quality Control of Thin Films

著者 (9件)： Priebe Agnieszka (Empa, Swiss Federal Laboratories for Materials Science and Technology, Laboratory for Mechanics of Materials and Nanostructures, Switzerland) ,  Dousse Bryan (Empa, Swiss Federal Laboratories for Materials Science and Technology, Laboratory for Mechanics of Materials and Nanostructures, Switzerland) ,  Dousse Bryan (Swiss Cluster AG, Switzerland) ,  Tzou Chia-Yu (TOFWERK AG, Switzerland) ,  Papadopoulos Georgios (TOFWERK AG, Switzerland) ,  Utke Ivo (Empa, Swiss Federal Laboratories for Materials Science and Technology, Laboratory for Mechanics of Materials and Nanostructures, Switzerland) ,  Bensaoula Abdelhak (TOFWERK AG, Switzerland) ,  Michler Johann (Empa, Swiss Federal Laboratories for Materials Science and Technology, Laboratory for Mechanics of Materials and Nanostructures, Switzerland) ,  Guerra-Nunez Carlos (Swiss Cluster AG, Switzerland)
資料名： Journal of Physical Chemistry C  (Journal of Physical Chemistry C)
巻： 126  号： 4  ページ： 1901-1912  発行年： 2022年 
JST資料番号： W1877A  ISSN： 1932-7447  CODEN： JPCCCK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 薄膜の異常な特性は,それらの2D構造(すなわち,1次元は2つの他のものと比べて無視できるほど小さい)から生じる。従って,硬度,機械的応力に対する抵抗,耐久性,または化学的/電気的安定性のようなこれらの材料の適切な機能性を提供するために,正確で十分に確立された製造方法が必要とされる。本研究では,薄膜製造プロセスの実時間制御のための原子層堆積(ALD)と飛行時間型質量分析計(TOFMS)の統合の可能性を提示した。この技術はすべてのイオン化分子およびイオン化フラグメントの平行検出を提供する。したがって,一般的に使用される四重極質量分析計の限界を克服する。さらに,化学データ取得がin situで行われるので,適用した堆積パラメータの結果は,例えば,最適または破壊からのプロセス偏差の場合,即時修正を可能にするオンラインで観察できる。提示したモニタリング法は,多くの堆積またはエッチングプロセスに広く適用され,正確な化学組成と厳密なエンドポイント制御が,マイクロデバイス(新しいエネルギー溶液とマイクロエレクトロニクス用)の製造,保護表面コーティング,アクチュエータ,センサ,および生物医学的応用などのように要求されている。Copyright 2022 American Chemical Society All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： イオン化 ,  化学組成 ,  *薄膜 ,  *品質管理 ,  アクチュエータ ,  一次元 ,  データ収集 ,  マイクロエレクトロニクス ,  生産工程 ,  四重極質量分析計 ,  表面被覆
準シソーラス用語： マイクロデバイス ,  オンライン ,  飛行時間型質量分析計 ,  *TOF-MS , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 有機化合物の薄膜  (BK14070L)

タイトルに関連する用語 (8件)： 薄膜 ,  化学 ,  品質管理 ,  ALD ,  TOFMS ,  元素 ,  分子 ,  リアルタイム