文献

J-GLOBAL ID：202202268343945482   整理番号：22A0741458

容量結合Ar/CF_4放電におけるElectronパワー吸収モード遷移:ハイブリッドモデリング研究【JST・京大機械翻訳】

Electron power absorption mode transition in capacitively coupled Ar/CF₄ discharges: hybrid modeling investigation

著者 (5件)： Wen Ying-Ying (Key Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion, and Electron Beams (Ministry of Education), School of Physics, Dalian University of Technology, Dalian 116024, People’s Republic of China) ,  Li Xin-Yang (Key Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion, and Electron Beams (Ministry of Education), School of Physics, Dalian University of Technology, Dalian 116024, People’s Republic of China) ,  Zhang Yu-Ru (Key Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion, and Electron Beams (Ministry of Education), School of Physics, Dalian University of Technology, Dalian 116024, People’s Republic of China) ,  Song Yuan-Hong (Key Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion, and Electron Beams (Ministry of Education), School of Physics, Dalian University of Technology, Dalian 116024, People’s Republic of China) ,  Wang You-Nian (Key Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion, and Electron Beams (Ministry of Education), School of Physics, Dalian University of Technology, Dalian 116024, People’s Republic of China)
資料名： Journal of Physics. D. Applied Physics  (Journal of Physics. D. Applied Physics)
巻： 55  号： 20  ページ： 200001 (11pp)  発行年： 2022年 
JST資料番号： B0092B  ISSN： 0022-3727  CODEN： JPAPBE  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,容量結合Ar/CF_4放電における電子パワー吸収モード遷移を一次元流体/電子モンテカルロハイブリッドモデルを用いて調べた。種々の電子吸収モードを,種々の外部放電条件下で観察し,それは,それぞれ,バルク電子と二次電子の寄与を調べることによって説明できた。結果は,ギャップが増加するにつれて,電子パワー吸収モードがドリフト-アンビポーラ(DA)モードからα-γ-DAハイブリッドモードに変化することを示す。これは,放電領域が拡大しているとき,また,弱いドリフトと両極性電場と同様に,それらの十分な衝突による二次電子の強化されたイオン化過程に起因する。二次電子放出係数を増加させることによって,二次電子の数密度は成長し,従って,放電はα-γ-DAハイブリッドモード上のα-DAハイブリッドモードから,そして最終的にγモードへの遷移を経験する。さらに,CF_4の割合が増加すると,放電はより負になる傾向がある。結果として,放電はα-γ-DAハイブリッドモード上のα-γハイブリッドモードから,そして最終的にDAモードへ徐々に移行した。本研究で得られた結果は,二次電子による高アスペクト比エッチングプロセスを改善するために重要である。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： イオン化 ,  一次元流 ,  電子 ,  二次電子放出 ,  *放電 ,  ドリフト ,  電子吸収 ,  *モデリング ,  *モード ,  *電磁結合 ,  数密度
準シソーラス用語： *容量結合 ,  二次電子 ,  両極性電場 ,  ハイブリッドモデリング ,  *モード遷移 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 気体放電  (BJ03020T)

タイトルに関連する用語 (7件)： 容量結合 ,  Ar ,  放電 ,  パワー ,  モード遷移 ,  ハイブリッドモデリング ,  研究