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J-GLOBAL ID：202202268601723473   整理番号：22A0565077

大規模金属マイクロ/ナノ粒子アレイのレーザ印刷:堆積挙動と微細構造【JST・京大機械翻訳】

Laser printing of large-scale metal micro/nanoparticle array: Deposition behavior and microstructure

著者 (5件)： Luo Guohu (State Key Lab of Mechanical System and Vibration, School of Mechanical Engineering, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai, 200240, China) ,  Wu Di (State Key Lab of Mechanical System and Vibration, School of Mechanical Engineering, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai, 200240, China) ,  Zhou Yu (State Key Lab of Mechanical System and Vibration, School of Mechanical Engineering, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai, 200240, China) ,  Hu Yongxiang (State Key Lab of Mechanical System and Vibration, School of Mechanical Engineering, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai, 200240, China) ,  Yao Zhenqiang (State Key Lab of Mechanical System and Vibration, School of Mechanical Engineering, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai, 200240, China)
資料名： International Journal of Machine Tools & Manufacture  (International Journal of Machine Tools & Manufacture)
巻： 173  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： C0568A  ISSN： 0890-6955  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,フェムトリットル金属ボクセルのレーザ誘起前方転送により,大規模マイクロ/ナノ粒子アレイを効率的に作製するための新しい印刷プロセスを提案した。サブマイクロメータ厚さのスパッタリング金属膜を,ピコ秒レーザを用いて,最初に独立したボクセルアレイにパターン化した。次に,紫外ナノ秒レーザは,単一レーザパルスで照射された後,ドナー基板から受信機へのボクセル移動を完全に誘起した。その結果,単一レーザ照射は数ミリメートルの面積をカバーするマイクロ粒子アレイを印刷できることを示した。印刷した微粒子サイズは5μmから580nmまで変化した。さらに,提案した印刷プロセスはボクセル体積を調整することによって高い制御性を示した。印刷した銅微粒子の断面の形態は,低い多孔性と酸化状態を示し,超微細ナノ結晶粒が非晶質シェル内で生成された。印刷微粒子の位置偏差は,1μmの平均値でカイ二乗分布に従った。さらに,提案したプロセスは,不安定な噴射と微小液滴分離が排除されるので,分解能を低減するための衛星微小液滴とデブリを避けることができる。提案した手法は,高効率と柔軟性を有する大規模微細構造アレイの印刷を可能にする。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： ドナー ,  *印刷 ,  可制御性 ,  銅 ,  レーザ照射 ,  非晶質 ,  金属薄膜 ,  レーザパルス ,  パターン形成 ,  ボクセル ,  *ナノ粒子 ,  ナノ結晶
準シソーラス用語： レーザ誘起 ,  微小液滴 ,  ピコ秒レーザ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： マイクロ/ナノ粒子アレイ ,  レーザ誘起前方移動 ,  金属微小液滴 ,  大規模製造

分類 (1件)： 特殊加工  (QC04000Y)

タイトルに関連する用語 (7件)： 大規模 ,  ナノ粒子 ,  アレイ ,  レーザ ,  堆積 ,  挙動 ,  微細構造