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J-GLOBAL ID：202202269136480875   整理番号：22A0733138

小型スパッタイオンポンプのポンピング速度測定法に関する研究【JST・京大機械翻訳】

Research on measuring method of pumping speed for miniature sputter ion pump

著者 (8件)： Geng Jian (Northeastern University, Shenyang 110004, China) ,  Wang Xiaodong (Northeastern University, Shenyang 110004, China) ,  Guo Meiru (Science and Technology on Vacuum Technology and Physics Laboratory, Lanzhou Institute of Physics, Lanzhou 730000, China) ,  Zhang Shiwei (Northeastern University, Shenyang 110004, China) ,  Cheng Yongjun (Science and Technology on Vacuum Technology and Physics Laboratory, Lanzhou Institute of Physics, Lanzhou 730000, China) ,  Li Yongchun (Science and Technology on Vacuum Technology and Physics Laboratory, Lanzhou Institute of Physics, Lanzhou 730000, China) ,  Li Haitao (Northeastern University, Shenyang 110004, China) ,  Ren Zhengyi (Science and Technology on Vacuum Technology and Physics Laboratory, Lanzhou Institute of Physics, Lanzhou 730000, China)
資料名： Measurement  (Measurement)
巻： 190  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： W0315B  ISSN： 0263-2241  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,小型スパッタイオンポンプ(SIP)の低ポンピング速度を得るために,流量計法とオリフィス法を採用した新しいキャリブレーション装置を開発し,2つの方法を低ポンプ速度の測定で比較した。10-4m3s-1のオーダーの低いポンプ速度を,10-6Paから10-2Paの圧力範囲で較正し,そして,複合標準不確実性は,窒素に対して4.5~8.8%であった。回転ロータゲージ(SRG)と抽出器ゲージ(IE514)の測定結果を対比して,抽出器ゲージの測定誤差が明白であることがわかった。したがって,抽出器ゲージのポンピング速度と排ガス速度を測定する方法を導入し,測定に及ぼす抽出器ゲージの影響を,10-6Paから10-4Paの圧力範囲で評価した。単一シリンダダイオードSIPである小型SIPの低ポンピング速度を,これらの高純度ガス(N_2,He,およびAr)で較正し,流量計法はオリフィス法よりも良好に機能した。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： オリフィス ,  流量計 ,  不確実性 ,  回転子 ,  排ガス ,  *ポンプ ,  窒素 ,  キャリブレーション ,  測定誤差 ,  抽出装置 ,  速度測定 ,  ゲージ
準シソーラス用語： スパッタポンプ ,  高純度 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 低ポンプ速度 ,  スパッタイオンポンプ ,  不確実性 ,  測定標準

分類 (3件)： 油圧・空気圧機器  (QD04020X) ,  流体の実験・試験・測定方法及び装置  (BC01020K) ,  時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (4件)： スパッタイオンポンプ ,  ポンピング ,  速度測定法 ,  研究