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J-GLOBAL ID：202202272859612814   整理番号：22A0912645

反応性直流マグネトロンスパッタリングにより蒸着した500~1000nm厚エレクトロクロミック酸化タングステン膜の着色と漂白特性【JST・京大機械翻訳】

Coloring and Bleaching Properties of 500-1000 nm-Thick Electrochromic Tungsten Oxide Films Deposited by Reactive Direct Current Magnetron Sputtering

著者 (4件)： Mian Md. Suruz (Faculty of Science and Technology, Seikei University, 3-3-1 Kichijoji-Kitamachi, Musashino-shi, Tokyo, 180-8633, Japan) ,  Yagi Riko (Faculty of Science and Technology, Seikei University, 3-3-1 Kichijoji-Kitamachi, Musashino-shi, Tokyo, 180-8633, Japan) ,  Oya Kei (Center for Promotion of Higher Education, Kogakuin University, 2665-1 Nakano-machi, Hachioji, Tokyo, 192-0015, Japan) ,  Nakano Takeo (Faculty of Science and Technology, Seikei University, 3-3-1 Kichijoji-Kitamachi, Musashino-shi, Tokyo, 180-8633, Japan)
資料名： Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science  (Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science)
巻： 219  号： 5  ページ： e2100646  発行年： 2022年 
JST資料番号： D0774A  ISSN： 1862-6300  CODEN： PSSABA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 反応性マグネトロンスパッタリングを用いて酸化インジウムスズ/ガラス基板上に非晶質酸化タングステン膜を調製し,それらのエレクトロクロミック(EC)特性を調べた。高密度に着色した膜を達成するために,厚さ500と1000nmの試料をAr3Pa雰囲気中で異なるポンピング速度と酸素流量で堆積した。蒸着したままの膜は同様に透明(≒80%)であるが,それらのEC特性は堆積条件および膜厚に強く依存する。500nm厚の試料は着色状態で4~8%の透過率を持ち,漂白状態で良好に回復した。対照的に,1000nm厚の膜は,着色状態で非常に低い透過率(<1%)を示したが,完全には回復しなかった。1000nm厚さの膜の中で,大きなポンピング速度と大きな酸素流量条件は,比較的良好な回復性をもたらす。500nm膜のサイクリックボルタモグラムは,小さくてバランスのとれた電荷移動を示し,一方,1000nm膜のそれらは,大きくて不均衡な電荷移動を示した。これらは,より多くのイオンが1000nmのサンプルにインターカレートされるが,完全には挿入されないことを示す。これらの知見は光遮蔽のためのEC応用の開発に寄与する。Copyright 2022 Wiley Publishing Japan K.K. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： イオン ,  電荷移動 ,  *酸化タングステン ,  漂白 ,  非晶質 ,  着色 ,  エレクトロクロミズム ,  透過率 ,  マグネトロンスパッタリング ,  酸化インジウムスズ
準シソーラス用語： ガラス基板 ,  酸素流量 ,  サイクリックボルタモグラム ,  反応性マグネトロンスパッタリング ,  *DCマグネトロンスパッタリング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： エレクトロクロミック特性 ,  膜厚 ,  光学特性 ,  酸化タングステン(WO_3)

分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  光物性一般  (BM08010A) ,  半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (7件)： 反応性 ,  直流マグネトロンスパッタリング ,  蒸着 ,  厚 ,  酸化タングステン ,  着色 ,  漂白