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J-GLOBAL ID：202202273291033318   整理番号：22A0717866

二次元半導体検出器SOIPIXを用いたX線カメラの開発と応用について

著者 (1件)： 西村龍太郎 (KEK 物構研)
資料名： KEK Proceedings (Web)  (KEK Proceedings (Web))
号： 2021-4  ページ： 12-15 (WEB ONLY)  発行年： 2022年01月 
JST資料番号： U0585A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・SOIPIXは,シリコンオンインシュレーター(SOI)技術によりシリコンセンサとLSI回路を一体化したX線検出の二次元半導体検出器で,寄生容量が小さくLSI高速化と小型化に有利。
・これの電荷積分型ピクセル検出器INTPIX4NAと10Gb版SiTCPライブリを組み込んだ読み出し基板を用いて,フレネルゾーンプレート(FZP)結像光学系のX線カメラを開発。
・十分なX線強度が得られる条件で斜めエッジ法により,設置時の水平方向および垂直方向で,変調トランスファー関数により解像特性を評価し,浜松フォトニクス製X線CMOSカメラより良好。
・AR NEIA FZP光学径のテストパターン撮像試験でも浜松フォトニクス製カメラより良好な撮像結果が得られ,低X線強度でも50nmまで識別可能で,ナイキスト周波数付近まで解像特性が良好。
・しかし低X線強度条件で十分な性能を発揮するには本格的な冷却系が必要で,現在冷却容器を製作中。

シソーラス用語： *X線検出器 ,  *半導体検出器 ,  *ケイ素 ,  *SOI構造 ,  電荷 ,  *X線カメラ ,  ピクセル検出器 ,  小型 ,  高速化 ,  ゾーンプレート ,  *撮像
準シソーラス用語： Fresnelゾーンプレート ,  二次元半導体検出器

分類 (1件)： X線技術  (BA02060D)

タイトルに関連する用語 (4件)： 二次元半導体検出器 ,  X線カメラ ,  開発 ,  応用