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J-GLOBAL ID:202202275509995365   整理番号:22A0779794

拡張SWIRイメージング用の15μmピッチの2.45μm 1280 102 1024 InGaAs焦点面アレイ【JST・京大機械翻訳】

2.45-μm 1280 ・ 1024 InGaAs Focal Plane Array With 15-μm Pitch for Extended SWIR Imaging
著者 (9件):
資料名:
巻: 34  号:ページ: 231-234  発行年: 2022年 
JST資料番号: T0721A  ISSN: 1041-1135  CODEN: IPTLEL  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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1280×1024のフォーマットと1150≦λ2450nmのスペクトル応答範囲を有する15×550μmピッチ拡張波長In_0.83Ga_0.17As/InPメガピクセル焦点面アレイ(FPA)を初めて示した。>86%までの高いフィルファクタ,<133nA/cm2までの低い暗電流密度,>69%までの高い量子効率を,新しい高密度マイクロメサアレイ処理技術を実行することによって達成した。99.37%の高い画素操作性を達成する,専用ウエハ湾曲制御技術を開発した。実験室イメージングも実証し,より広いSWIRスペクトル領域における高分解能イメージング応用の可能性を示した。Copyright 2022 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (2件):
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赤外・遠赤外領域の測光と光検出器  ,  半導体レーザ 

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