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J-GLOBAL ID:202202277814555957   整理番号:22A0499720

液相エピタクシーにより作製したNi/SiO_2/P-Siダイオードの電流輸送と誘電解析【JST・京大機械翻訳】

Current Transport and Dielectric Analysis of Ni/SiO2/P-Si Diode Prepared by Liquid Phase Epitaxy
著者 (4件):
資料名:
巻: 14  号:ページ: 153-163  発行年: 2022年 
JST資料番号: W4947A  ISSN: 1876-9918  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: ドイツ (DEU)  言語: 英語 (EN)
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ここでは,液相エピタクシー(LPE)プロセスによりNi/SiO_2/p-SiMISダイオードを開発した。構造および表面形態をXRDおよびSEM法で調べた。デバイスの電気的研究,Ni/SiO_2/n-Si,は,I-Vキャラクタリゼーションを用いて,Schottkyダイオードの価値ある整流と電気的パラメータを実証した。静電容量(C),誘電率(ε′),誘電損失(ε′′),コンダクタンスおよびac伝導率(σ_ac)のような異なる誘電パラメータを評価した。さらに,バイアスdc電圧との関係を,周波数範囲10Hz-20MHz,温度303Kから363K,およびDCバイアス電圧2Vから2Vまで調べ,可変調査パラメータは温度,周波数およびバイアス電圧に依存することを見出した。Copyright Springer Nature B.V. 2020 Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (1件):
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ダイオード 

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