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J-GLOBAL ID：202202279371080842   整理番号：22A1148204

膜厚の異なる(Fe_0.75Ga_0.25)_100-xC_x膜における磁気特性のC組成依存性

Dependence of Magnetic Properties on the C Composition for (Fe_0.75Ga_0.25)_100-xC_x Films with Various Film Thickness

著者 (3件)： 村松省吾 (東北大) ,  宮崎孝道 (東北大) ,  遠藤恭 (東北大)
資料名： 電気学会全国大会講演論文集(CD-ROM)  (Annual Meeting Record, I.E.E. Japan (CD-ROM))
巻： 2022  ページ： ROMBUNNO.2-078  発行年： 2022年03月01日 
JST資料番号： S0653B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・高い飽和磁歪量および優れた機械特性を有する磁歪薄膜材料であるFe-Ga多結晶薄膜に,第三元素Cを選択し,膜厚およびC組成の異なるFe-Ga-C膜を作製し,それらの構造と磁気特性について検討。
・Fe-Ga-C膜はDCマグネトロンスパッタリングを用いてガラス基板上に製膜し,Fe-Ga-C膜のC組成は3.7,7.5,8.0,13.0,15at%とし,膜厚は5~100nmと変化。
・膜厚の異なるFe-Ga-C膜における飽和磁歪(λ_s)の組成依存性を調べ,いずれの膜厚においても飽和磁歪(λ_s)はC組成に依存せずにほぼ一定であることを確認。
・膜厚の異なるFe-Ga-C膜におけるダンピング定数(α)の組成依存性を調べ,いずれの膜厚においてもダンピング定数(α)はC組成の増加にともない減少することを確認。

シソーラス用語： 膜厚 ,  *磁性薄膜 ,  *磁気歪材料 ,  *依存性 ,  化学組成 ,  多結晶 ,  *磁歪 ,  マグネトロンスパッタリング ,  減衰定数 ,  磁性 ,  *軟磁性材料
準シソーラス用語： DCマグネトロンスパッタリング ,  *組成依存性 ,  軟磁気特性 ,  *飽和磁歪

分類 (1件)： 磁性材料  (NA04040H)

引用文献 (4件)：

• Daniel B. Gopman et al., IEEE TRANSACTIONS, VOL. 53, NO.11, 6101304, (2017)
• Y. Endo et al., IEEE Trans. FM, VOL. 141, NO.2, pp.118-122, (2021).
• Xianfeng Liang et al., IEEE MAGNETIC LETTERS 10, 5500705 (2019)
• 川辺泰之 ら, T.Magn. Soc. Jpn. (Special Issues), 3,34-38 (2019)

タイトルに関連する用語 (3件)： 膜厚 ,  磁気特性 ,  組成依存性