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J-GLOBAL ID：202202279606441266   整理番号：22A0956656

マスクレスプロセスを用いたアルカリアルミノケイ酸塩Gorillaディスプレイガラス基板の表面ナノ構造化【JST・京大機械翻訳】

Surface nanostructuring of alkali-aluminosilicate Gorilla display glass substrates using a maskless process

著者 (10件)： Cao Rongtao (Department of Electrical and Computer Engineering, University of Pittsburgh, Pittsburgh, PA, 15261, United States of America) ,  Zhou Ziyu (Department of Mechanical Engineering and Materials Science, University of Pittsburgh, Pittsburgh, PA 15261, United States of America) ,  Haghanifar Sajad (Department of Industrial Engineering, University of Pittsburgh, Pittsburgh, PA 15261, United States of America) ,  Wu Jingyu (Department of Electrical and Computer Engineering, University of Pittsburgh, Pittsburgh, PA, 15261, United States of America) ,  Li Ming-Jun (Corning Incorporated, Corning, NY, 14831, United States of America) ,  Tan Susheng (Department of Electrical and Computer Engineering, University of Pittsburgh, Pittsburgh, PA, 15261, United States of America) ,  Tan Susheng (Petersen Institute of NanoScience and Engineering, University of Pittsburgh, Pittsburgh, PA 15261, United States of America) ,  Leu Paul W (Department of Mechanical Engineering and Materials Science, University of Pittsburgh, Pittsburgh, PA 15261, United States of America) ,  Leu Paul W (Department of Industrial Engineering, University of Pittsburgh, Pittsburgh, PA 15261, United States of America) ,  Chen Kevin P (Department of Electrical and Computer Engineering, University of Pittsburgh, Pittsburgh, PA, 15261, United States of America)
資料名： Nanotechnology  (Nanotechnology)
巻： 33  号： 24  ページ： 245301 (6pp)  発行年： 2022年 
JST資料番号： W0108A  ISSN： 0957-4484  CODEN： NNOTER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,自己マスキングプラズマエッチング法を用いて,アルカリアルミノシリケートGorillaガラス基板の表面でのガアイナノピラー構造の形成について報告する。表面および断面化学組成研究を行い,ナノ構造の形成を研究した。CF_x誘起ポリマーはプラズマエッチング中の自己マスキング材料であることを示した。ナノ構造は525nm以上の波長での透過を促進し,流体誘起の切り替え可能なヘイズに利用できる。ナノ構造に関連する付加的機能性は,自己洗浄,抗曇り,および染色耐性などのように実現される。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 化学組成 ,  表面 ,  *表面構造 ,  マスキング ,  構造 ,  波長 ,  *アルミノケイ酸塩 ,  染色 ,  *表示装置 ,  プラズマエッチング ,  *ナノ構造
準シソーラス用語： ヘイズ ,  *ガラス基板 ,  機能性 ,  自己洗浄 ,  *表面ナノ構造 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  原子・分子のクラスタ  (BH09030O)

タイトルに関連する用語 (8件)： マスクレス ,  プロセス ,  アルカリ ,  アルミノケイ酸塩 ,  Gorilla ,  ディスプレイ ,  ガラス基板 ,  表面ナノ構造