文献

J-GLOBAL ID：202202279887875679   整理番号：22A1094852

ヘテロエピタキシャルβ-Ga_2O_3薄膜太陽ブラインド光検出器における酸素空孔の効果【JST・京大機械翻訳】

Effect of oxygen vacancies in heteroepitaxial β-Ga₂O₃ thin film solar blind photodetectors

著者 (7件)： Xu Rui (School of Electronic Science and Engineering (National Model Microelectronics College), Xiamen University, Xiamen, Fujian, 361005, PR China) ,  Ma Xiaocui (School of Electronic Science and Engineering (National Model Microelectronics College), Xiamen University, Xiamen, Fujian, 361005, PR China) ,  Chen Yanhui (School of Electronic Science and Engineering (National Model Microelectronics College), Xiamen University, Xiamen, Fujian, 361005, PR China) ,  Mei Yang (School of Electronic Science and Engineering (National Model Microelectronics College), Xiamen University, Xiamen, Fujian, 361005, PR China) ,  Ying Leiying (School of Electronic Science and Engineering (National Model Microelectronics College), Xiamen University, Xiamen, Fujian, 361005, PR China) ,  Zhang Baoping (School of Electronic Science and Engineering (National Model Microelectronics College), Xiamen University, Xiamen, Fujian, 361005, PR China) ,  Long Hao (School of Electronic Science and Engineering (National Model Microelectronics College), Xiamen University, Xiamen, Fujian, 361005, PR China)
資料名： Materials Science in Semiconductor Processing  (Materials Science in Semiconductor Processing)
巻： 144  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： W1055A  ISSN： 1369-8001  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,β-Ga_2O_3薄膜を有機金属化学蒸着(MOCVD)によりそれぞれGaNテンプレートとサファイア基板上に堆積させた。対応するβ-Ga_2O_3薄膜金属-半導体-金属(MSM)光検出器(PD)を調製した。これら2つのヘテロエピタキシャルβ-Ga_2O_3薄膜PD間の性能を比較して,酸素空孔が不一致を決定することを見出した。GaN上のβ-Ga_2O_3PDの応答性は,インターデジタル間隔と共に増加し,一方,サファイア上のβ-Ga_2O_3PDの挙動は逆であった。MSM構造の光伝導モデルを発表し,上記の観察における酸素空孔の重要な役割を示した。一方,酸素空孔による光生成正孔の捕獲は,応答性を高めるだけでなく,応答時間を遅らせた。本研究は,ヘテロエピタキシャルβ-Ga_2O_3薄膜PDのさらなる最適化の道を開く。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 基板 ,  光伝導 ,  最適化 ,  正孔 ,  *太陽 ,  *薄膜 ,  半導体 ,  *光検出器 ,  応答特性 ,  金属薄膜 ,  酸化ガリウム ,  サファイア ,  窒化ガリウム ,  MOCVD
準シソーラス用語： サファイア基板 ,  *酸素空格子点 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 酸化ガリウム ,  ソーラーブラインド光検出器 ,  MSM ,  酸素空孔 ,  光伝導性モデル

分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (5件)： 薄膜 ,  太陽 ,  ブラインド ,  光検出器 ,  酸素空孔